По запросу
Компактная, недорогая универсальная установка для удаления фоторезиста, которая обрабатывает пластины размером 100-300 мм.
По запросу
Gemini — недорогая, универсальная система. Обрабатывает пластины размером 100-300 мм. Установка разработана специально для использования на производстве.
По запросу
Технологический процесс : HDCVD / PECVD
Minilock ALD — установка для осаждения тонких пленок в тепловом и плазменном режимах
По запросу
Minilock Orion III — установка для плазмохимического осаждения тонких пленок из газовой фазы с вакуумным шлюзом (ПХО, PECVD) лабораторного и промышленного назначения
По запросу
Небольшая установка плазмохимического травления c вакуумным шлюзом промышленного назначения. Установка может использоваться для любых процессов плазмохимического травления с использованием фторных газов и кислорода.
По запросу
Oracle III — кластерная система плазмохимического травления и осаждения пленок, диэлектриков (RIE; RIE+ICP; PECVD) промышленного назначения
По запросу
Orion III PECVD — установка для осаждения тонких плёнок из газовой фазы в вакууме. Предназначена для лабораторного применения.
По запросу
Лабораторная установка плазмохимического травления. Поддерживает процессы: RIE; RIE+ICP.
По запросу
Настольная, лабораторная, базовая модель. Sirus T2 Trion (RIE) - установка плазмохимического травления. Может использоваться для любых процессов с применением фторных газов и кислорода.
По запросу
Titan Trion — производственная установка (PECVD; RIE+HDICP; RIE) для травления или осаждения диэлектриков
По запросу
Габариты установки: 450 х 500 х 370 мм (В х Ш х Г)
Предельный вакуум: менее 50 мТорр
Вес в упаковке: 42 кг
Настольная установка подготовки образцов модели DSCR представляет собой компактную систему нанесения покрытий, включающую как напыление, так и устройство для нанесения углеродного покрытия. Идеально подходит для работы со сканирующим электронным микроскопом (SEM).
По запросу
Габариты установки: 450 х 500 х 370 мм (В х Ш х Г)
Предельный вакуум: менее 50 мTорр
Вес в упаковке: 46 кг
Настольная установка подготовки образцов модели DCR представляет собой компактную систему покрытия углеродным волокном, подходящую для подготовки образцов для использования в сканирующем электронном микроскопе (SEM), трансмиссионном электронном микроскопе (TEM) и в рентгеновском анализе (EDX).
По запросу
Габариты установки: 450 х 500 х 370 мм (В х Ш х Г)
Предельный вакуум: менее 7 x 10 -7 Торр
Вес в упаковке: 46 кг
Настольная установка подготовки образцов модели DCT представляет собой компактную систему нанесения углеродного покрытия с турбонасосом, которая идеально подходит для FE-SEM, EDS/WDS, TEM, EBSD и нанесения тонких пленок.
По запросу
НОВИНКА!!!
Minilock Duo Trion – компактная система плазмохимического травления или осаждения.
Имеет 2 реактора, каждый из которых можно использовать под следующие процессы травления или осаждения: PR Strip, RIE, PE, ICP, DRIE, PECVD, HDCVD.
Trion Technology
Компания Trion — производитель систем плазмохимического травления и осаждения. Основана в 1989 году. Компанией поставлено и установлено более 500 систем по всему миру. Исследовательская деятельность компании направлена на полную проверку оборудования Trion в реальных условиях производства, обеспечение конечного решения проблемы пользователя, разработку новых технологических процессов для производства.