Установки Plassys для синтеза кубитовых устройств. Разработки компании PLASSYS соответствуют уровню стремительно
развивающейся технологии создания кубитовых объектов и представлены
серией систем, специально разработанных для формирования джозефсоновских
переходов.
Рабочее давление: до 300 мбар или более Микроволновый генератор: 6 кВт (импульсный режим источника) Газовые линии : 4, дополнительно по запросу Держатель подложки : 2" Бихроматический ИК-пирометр: 475 – 1475 °C Базовое давление в реакторе: 5×10-7 Мбар
Установка MV-PACVD SSDR 150 Plassys представляет собой микроволновый плазменный реактор, предназначенный для синтеза алмазной пленки и драгоценных камней. Используя плазму высокой плотности, реактор позволяет получать алмазные пленки высокой чистоты с высокой скоростью роста.
MEB 550 S Plassys позволяет проводить осаждение слоёв без повреждений поверхности и обратную литографию. Система имеет 6-киловаттный источник электронов, шлюзовую камера и держатель для пластин диаметром 10 см и менее.
Система электронно-лучевого напыления MEB 550 S предназначена для исследований и разработок. Данное оборудование имеет отличную репутацию во всем мире.
