Подавление вибраций для высокоточного оборудования
Электронные микроскопы, как любое высокоточное оборудование, подвержены влиянию окружающих факторов. Качественный электронный пучок, при помощи которого формируется изображение, является главной составляющей для обеспечения изображения при больших увеличениях.Хотя микроскопы высокого разрешения разработаны и произведены по самым строгим стандартам, на их производительность все же оказывает влияние окружающая среда. Так, низкие частоты вибраций пола значительно ограничивают разрешающую способность микроскопа и другого высокоточного оборудования, применяемого в микроэлектронике, метрологии, конфокальной микроскопии, интерферометрии.
Оборудование TMC для подавления вибраций
Компания TMC — инновационный лидер в области подавления вибраций, магнитных и акустических помех для применений в научных лабораториях и на производстве — разработала спектр оборудования для устранения вибраций: от виброзащитных платформ для микроскопов до оптических столов для интерферометрии и метрологии. Линия производимой продукции включает пассивные системы виброзащиты и сложные активные пьезо-системы, основанные на подавлении вибрации для высокочувствительного измерительного оборудования, такого как сканирующий электронный микроскоп или литографические системы.