Система из электронно-лучевой колонны, устройства прецизионного позиционирования образцов, продвинутой вибро- и теплоизоляции с полным спектром возможностей для формирования изображений и проведения оже-спектроскопии наноструктур с увеличением до 500 тыс. крат и выше.
Диаметр образца: от 25 до 60 мм Детектирование данных: по 128 каналам Ионная пушка С60 : 20 кВ Диаметр рентгеновского пучка: менее 10 мкм
Передовая система с улучшенной производительностью и дополнительными техническими возможностями, важными для изучения современных материалов (технология XPS, ESCA, РФЭС)
