пн-пт  10:00 - 19:00
г. Москва
+7 (495) 204 13 17
г. Санкт-Петербург
+7 (812) 509 20 91
Москва
Санкт-Петербург
По всей России
Москва
Санкт-Петербург
По всей России

PHI 710 - система сканирующей оже-микроскопии

Производитель:
Physical Electronics (PHI) Flag

Система из электронно-лучевой колонны, устройства прецизионного позиционирования образцов, продвинутой вибро- и теплоизоляции с полным спектром возможностей для формирования изображений и проведения оже-спектроскопии наноструктур с увеличением до 500 тыс. крат и выше. 

Задать вопрос
Цена с НДС:
По запросу
Доставка по всей России бесплатно
Подробнее о доставке здесь
  • Детальное описание
  • Тех.характеристики
  • Документация
  • Оплата и доставка

Система сканирующей оже-микроскопии PHI 710 – это уникальный высокопроизводительный аналитический инструмент для получения информации об элементном и химическом составе поверхностных слоев твердотельных образцов, наноструктур, тонких пленок и веществ на границах раздела методом электронной оже-спектроскопии (ЭОС). В отличие от установок оже-спектроскопии, построенных на базе обычных СЭМ, система PHI 710 обеспечивает оптимальное сочетание чувствительности, пространственного и энергетического разрешения, что позволяет решать даже самые сложные задачи в области ЭОС.

Ключевые особенности

  • Регистрация оже- и вторичных электронов (ВЭ) с высоким пространственным разрешением
  • Отличное качество изображений реальных (шероховатых) поверхностей
  • Цилиндрический зеркальный анализатор (ЦЗА) с превосходным энергетическим разрешением
  • Стабильные результаты при исследовании диэлектриков
  • Эффективное профилирование по глубине
  • Современное, удобное в использовании программное обеспечение.

Высокое пространственное разрешение

Хорошая стабильность результатов при анализе наноструктур

Система PHI 710 имеет в своем составе современную электронно-лучевую колонну, устройство прецизионного позиционирования образцов, а также продвинутую вибро- и теплоизоляцию, что предоставляет полный спектр возможностей для формирования изображений и проведения оже-спектроскопии наноструктур с увеличением до 500 тыс. крат и выше. Вдобавок, система обеспечивает высокую стабильность параметров при долговременной регистрации изображений.

Стандартный комплект поставки

  • Цилиндрический зеркальный анализатор (ЦЗА);
  • Автоэмиссионная электронная пушка коаксиальной конструкции (максимальное ускоряющее напряжение 25 кВ);
  • Детектор вторичных электронов сцинтилляторного типа;
  • Модуль обеспечения высокого энергетического разрешения;
  • 5-осевой столик для размещения образцов;
  • Ионная пушка с функцией торможения пучка и источником ионов Ar+ (максимальное ускоряющее напряжение 5 кВ);
  • Управляющее программное обеспечение SmartSoft-Auger;
  • Программное обеспечение для обработки и архивации данных MultiPak;
  • Кожух для защиты от акустических помех;
  • Вакуумная камера и ионные насосы.
Дополнительные устройства

• Камера для загрузки образцов

• Система позиционирования образца

• Устройство для создания изломов без извлечения из системы

• Ёмкость для переноса образца

• Детектор энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии (ЭДС, EDS)

• Детектор дифракции обратнорассеянных электронов (ДОРЭ, EBSD)

• Детектор отраженных электронов (ОЭ, BSE)


Увеличение наноструктур: 500 000 крат и выше