Установка плазменного травления позволяет снять верхний слой материала. Преимущество этой технологии, в сравнении с жидкостной, в большой анизотропии процесса и отсутствия необходимости в проведении дополнительных операций по удалению сторонних примесей с материала. Большинство систем отличаются компактными размерами, укомплектованы вакуумным шлюзом и удобными креплениями для пластин.
Виды плазменного травления
Существует 3 способа взаимодействия плазменных частиц с поверхностью материала: ионное, плазмохимическое, ионно-химическое. Для ионной обработки используют инертные газы, не образующие радикалы. Они выбивают атомы из слоев подложки своей кинетической энергией. Этот метод подходит практически для любого материала. При процедуре наблюдается сильная анизотропия, т.к. она действует в направлении ускорения ионов.
При плазмохимическом методе травление происходит после химической реакции между частицами активного газа и поверхностью материала. Если плазма отделена от материала, взаимодействие происходит с атомами и радикалами. Стадии плазмохимического процесса:
- Перенос молекул активного газа в зону разряда.
- Превращение газовых молекул в радикалы под действием разряда.
- Доставка радикалов к материалу.
- Адсорбция радикалов на поверхности.
- Взаимодействие радикалов с атомами.
- Десорбция получившихся продуктов с поверхности материала.
- Очистка продуктов реакции.
Установка ионного травления удаляет с поверхности слои под действием распыления или при химическом взаимодействии. Если энергия ионов меньше 100 эВ, считается, что преобладают плазмохимические процессы. В ином случае речь идет о преобладании в системе ионных процессов.
Применение
Технология плазменного травления используется для создания микроструктурирования поверхностей с целью улучшения адгезии. Ее используют для удаления фитолака, склеивания ПТФЭ, производстве интегральных микросхем. Для дескама и стрипинга различных слоев.
В компании «Серния Инжиниринг» можно купить установку ионного травления Trion Technology для удаления фторезиста или осаждения тонких пленок. Цена оборудования предоставляется по запросу.