Установки плазмохимического удаления фоторезиста Apollo Stripper Trion
Apollo Stripper — компактная, недорогая универсальная установка плазмохимического удаления фоторезиста, которая обрабатывает пластины размером 100-300 мм. Используя технологии ICP или Microwave и ВЧ-генератор в зависимости от необходимости, слои фоторезиста легко удаляются даже при низкой температуре. В соответствие с требованиями заказчика в систему может входить SST микроволновый источник (надежный и свободный от типичных проблем, связанных с микроволновой настройкой).
ОСОБЕННОСТИ УСТАНОВКИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО УДАЛЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА APPOLLO STRIPPER:
- Скорость травления: до 6 мкм/мин.
- Минимальное повреждение образца плазмой.
- Самоподстройка отраженной мощности.
- Пластины от 100 мм до 300 мм.
- Малые размеры.
ПРИМЕНЕНИЕ УСТАНОВКИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО УДАЛЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА:
- МЕМС,
- полупроводниковые соединения,
- опытное производство.
ТРЕБОВАНИЯ К ПОДАЧЕ ГАЗОВ ДЛЯ УСТАНОВКИ APOLLO STRIPPER TRION:
Пользователь должен обеспечить подачу технологических газов к системе в соответствии с требованиями ТБ РФ.
- КОЛИЧЕСТВО ГАЗОВ: определяется технологическими процессами
- ДАВЛЕНИИ В ЛИНИИ: 1-3 атм.
- ТРУБОПРОВОД: стальная трубка для чистых газов с электрополировкой
- ТИП СОЕДИНЕНИЯ: VCR.
Заказ товаров
Сделать заказ товара можно несколькими способами:
- Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
- Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.
Оплата товара
Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).
Доставка товара
Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.
Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.
