Соединяя науку и технологии office@sernia.ru
пн-пт 10:00 – 19:00
сб-вс выходные
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

Phantom III Trion - установка плазмохимического травления для лабораторий

Phantom III Trion - установка плазмохимического травления для лабораторий
Цена: По запросу
Производитель: Trion Technology Flag
Лабораторная установка плазмохимического травления. Поддерживает процессы: RIE; RIE+ICP.
Скачать документацию Задать вопрос
  • Описание
  • Документация

Установка плазмохимического травления Phantom III Trion

Phantom III Trion — установка плазмохимического травления (RIE; RIE+ICP) для лабораторий. Установка может использоваться для любых процессов плазмохимического травления с использованием фторных газов и кислорода. Опционально доступен ICP (индуктивно-связанная плазма) реактор.

Технологические процессы

  • RIE (Reactive Ion Etch — реактивное ионное травление) — технология травления, используемая в микроэлектронике. Химически активная плазма используется для удаления материала с подложки. Плазма создаётся при низком давлении при помощи газового разряда. Поступающие из плазмы ионы ускоряются за счёт разности потенциалов между ней и подложкой. Совместное действие химических реакций, ионного распыления и ионной активации приводит к разрушению материала подложки, образованию летучих соединений и десорбции их с поверхности.

  • ICP (inductively coupled plasma - индуктивно-связанная плазма) — плазма, образующаяся внутри разрядной камеры или иного плазменного реактора при приложении высокочастотного переменного магнитного поля. ICP зажигается и поддерживается за счёт циклических индуцированных вихрей электрического тока свободных электронов (и ионов) в плазме. Для возбуждения ICP обычно используется переменное электромагнитное поле на частоте 1 – 100 МГц.

Спецификация Phantom III Trion:

Вакуумная система
Турбомолекулярный насос 300 л/с

Форвакуумный механический насос 27 cfm или 17 cfm
Автоматический контроль давления в реакционной камере
Реакционная камера Стандартная - RIE 

С источником индуктивно-связанной плазмы – ICP (опционально)

 ВЧ генератор
13,56 МГц

600 Вт для RIE и ICP
1200 Вт (опционально)
3000 Вт (опционально для RIE)

Держатель
200 или 300 мм (опционально изготавливается крепление для кусочков)
Дополнительно доступна опция держателя с электростатическим прижимом и охлаждением гелием.

Детектор конечной точки (End-Point)
Интерферометр

Оптический спектрометр

Система управления
ПО (разработано Trion Technology) на базе Windows

Сенсорный экран

Охлаждение реактора
 (опционально)(требуется  поддержание температуры в  районе 18-20 oС)
Циркуляционный чиллер Polyscience 6700

Термостабилизация нижнего   электрода (опционально)
Термостабилизация в диапазоне от -20 до +150 (больший диапазон по запросу)

Максимальное количество газов
До 12

Процессы
Возможна поставка системы с готовыми процессами по запросу

Требования к подаче технологических газов

Пользователь должен обеспечить подачу технологических газов к системе в соответствии с требованиями ТБ РФ.  Количество газов: определяется технологическими процессами.  Давление в линии: 1-3 атм. Трубопровод: стальная трубка для чистых газов с электрополировкой. Тип соединения: VCR.

Ранее просмотренные товары

 

  • Оформление заказа
  • Доставка
  • Техподдержка
Как оформить заказ на сайте
  • Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или отправьте запрос на получение счета на tt@sernia.ru  с темой «Запрос счета».
  • Если Вы ранее не работали с нашей компанией, в письме необходимо указать Ваши реквизиты.
  • Мы работаем как с юридическими, так и с физическими лицами.
  • Оплата осуществляется по безналичному расчету.
  • Для получения дополнительной информации необходимо связаться с менеджером по продажам Царевой Татьяной Андреевной, e-mail: tt@sernia.ru.

Варианты доставки оборудования:

Доставка SERNIA
  • Доставка транспортной компанией СПСР-экспресс до двери получателя. Стоимость доставки включается в счет;
  • Доставка любой другой транспортной компанией (до двери или до терминала ТК в вашем городе). Оплата доставки осуществляется при получении;
  • Самовывоз (Москва, Воробьевы Горы, Физический факультет МГУ,1, стр.2);
  • Доставка курьером по Москве и ближнему Подмосковью. Стоимость доставки включается в счет.

Сомневаетесь в выборе прибора? Проконсультируйтесь с нашим специалистом по измерительному оборудованию!

Т
  • На все вопросы Вам ответит инженер департамента измерительных комплексов Дмитрий Величко.
  • Свяжитесь с ним по тел. +7 (495) 204-13-17 или
  • Отправьте письмо на e-mail: info@sernia.ru с указанием темы «Тех.консультация».
  • В письме укажите Ваш контактный телефон. Инженер свяжется с Вами в течении 1 часа.