Соединяя науку и технологии office@sernia.ru
пн-пт 10:00 – 19:00
сб-вс выходные
+7 (495) 204 13 17
8 (800) 301 13 17

Phantom III Trion - установка плазмохимического травления для лабораторий

Производитель:
Trion Technology Flag
Лабораторная установка плазмохимического травления. Поддерживает процессы: RIE; RIE+ICP.
Задать вопрос
Цена с НДС:
По запросу
Доставка по всей России бесплатно
Подробнее о доставке здесь
  • Детальное описание
  • Документация
  • Оплата и доставка
  • Демонстрация

Установка плазмохимического травления Phantom III Trion

Phantom III Trion — установка плазмохимического травления (RIE; RIE+ICP) для лабораторий. Установка может использоваться для любых процессов плазмохимического травления с использованием фторных газов и кислорода. Опционально доступен ICP (индуктивно-связанная плазма) реактор.

Технологические процессы

  • RIE (Reactive Ion Etch — реактивное ионное травление) — технология травления, используемая в микроэлектронике. Химически активная плазма используется для удаления материала с подложки. Плазма создаётся при низком давлении при помощи газового разряда. Поступающие из плазмы ионы ускоряются за счёт разности потенциалов между ней и подложкой. Совместное действие химических реакций, ионного распыления и ионной активации приводит к разрушению материала подложки, образованию летучих соединений и десорбции их с поверхности.

  • ICP (inductively coupled plasma - индуктивно-связанная плазма) — плазма, образующаяся внутри разрядной камеры или иного плазменного реактора при приложении высокочастотного переменного магнитного поля. ICP зажигается и поддерживается за счёт циклических индуцированных вихрей электрического тока свободных электронов (и ионов) в плазме. Для возбуждения ICP обычно используется переменное электромагнитное поле на частоте 1 – 100 МГц.

Спецификация Phantom III Trion:

Вакуумная система

Турбомолекулярный насос 300 л/с;
Форвакуумный механический насос 27 cfm или 17 cfm;
Автоматический контроль давления в реакционной камере.

Реакционная камера

Стандартная - RIE;
С источником индуктивно-связанной плазмы – ICP (опционально)


 ВЧ генератор

13,56 МГц
600 Вт для RIE и ICP
1200 Вт (опционально)
3000 Вт (опционально для RIE)


Держатель

200 или 300 мм (опционально изготавливается крепление для кусочков);
Дополнительно доступна опция держателя с электростатическим прижимом и охлаждением гелием.


Детектор конечной точки (End-Point)

Интерферометр;
Оптический спектрометр


Система управления

ПО (разработано Trion Technology) на базе Windows;
Сенсорный экран


Охлаждение реактора
 (опционально)(требуется  поддержание температуры в  районе 18-20 oС)

Циркуляционный чиллер Polyscience 6700


Термостабилизация нижнего   электрода (опционально)

Термостабилизация в диапазоне от -20 до +150 (больший диапазон по запросу)


Максимальное количество газов
До 12

Процессы

Возможна поставка системы с готовыми процессами по запросу

Требования к подаче технологических газов

Пользователь должен обеспечить подачу технологических газов к системе в соответствии с требованиями ТБ РФ.  Количество газов: определяется технологическими процессами.  Давление в линии: 1-3 атм. Трубопровод: стальная трубка для чистых газов с электрополировкой. Тип соединения: VCR.

 

  • Оформление заказа
  • Доставка
  • Техподдержка
masyuk
  • Отправьте запрос на сайте через форму обратной связи «ЗАКАЗАТЬ». Укажите необходимое количество товара и нужный способ доставки, любые другие детали запроса.
  • Отправьте запрос на e-mail am@sernia.ru с темой «Запрос на оборудование», указав необходимое количество товара, сроки и способ доставки, любые другие детали запроса.
  • Позвоните  по телефону  +7 (495) 204-13-17 или  8 (800) 301-13-17 (бесплатный звонок для регионов), доб. 203, контактное лицо - Масюк Алексей Владимирович.

Варианты доставки оборудования:

Доставка SERNIA
  • Доставка транспортной компанией СПСР-экспресс до двери получателя. Стоимость доставки включается в счет;
  • Доставка любой другой транспортной компанией (до двери или до терминала ТК в вашем городе). Оплата доставки осуществляется при получении;
  • Самовывоз (Москва, Воробьевы Горы, Физический факультет МГУ,1, стр.2);
  • Доставка курьером по Москве и ближнему Подмосковью. Стоимость доставки включается в счет.

Сомневаетесь в выборе прибора? Проконсультируйтесь с нашим специалистом по измерительному оборудованию!

kolybin.jpg
  • На все вопросы Вам ответит инженер департамента измерительных комплексов Колыбин Станислав Игоревич.
  • Свяжитесь с ним по тел. +7 (495) 204-13-17 или
  • Отправьте письмо на e-mail: info@sernia.ru с указанием темы «Тех. консультация».
  • В письме укажите Ваш контактный телефон. Инженер свяжется с Вами в течении 1 часа.