Gemini Stripper Trion - установка для плазмохимического удаления фоторезиста промышленного назначения

Gemini — наиболее компактная, недорогая и универсальная система. Эта многокамерная, высокопроизводительная установка специально разработана для использования на производстве. Обрабатывает пластины размером 100-300 мм. Используя технологии ICP или Microwave и ВЧ-генератор в зависимости от необходимости, слои резиста легко удаляются даже при низкой температуре. В соответствие с требованиями заказчика в систему может входить SST микроволновый источник (надежный и свободный от типичных проблем, связанных с микроволновой настройкой).

• Скорость травления: до 6 мкм/мин.
• Минимальное повреждение образца плазмой.
• Самоподстройка отраженной мощности.
• Пластины от 100 мм до 300 мм.
• Малые размеры.

• МЕМС,
• полупроводниковые соединения,
• опытное производство.

ТРЕБОВАНИЯ К ПОДАЧЕ ГАЗОВ: 

Пользователь должен обеспечить подачу технологических газов к системе в соответствии с требованиями ТБ РФ.  

• КОЛИЧЕСТВО ГАЗОВ: определяется технологическими процессами
• ДАВЛЕНИИ В ЛИНИИ: 1-3 атм.
• ТРУБОПРОВОД: стальная трубка для чистых газов с электрополировкой
• ТИП СОЕДИНЕНИЯ: VCR.