Minilock Duo Trion – компактная система плазмохимического травления или осаждения.
Имеет 2 реактора, каждый из которых можно использовать под следующие процессы травления или осаждения: PR Strip, RIE, PE, ICP, DRIE, PECVD, HDCVD.
Описание системы плазмохимического травления и осаждения
Minilock Duo Trion – компактная система плазмохимического травления или осаждения. Состоит из двух независимых модуля, предусмотренных для проведения технологических процессов. Каждый из модулей соединен с вакуумным загрузочным шлюзом, который представлен в виде отдельного блока.
ОСОБЕННОСТИ И ПРЕИМУЩЕСТВА
1.Процессы травления и осаждения в одной системе
Используя Minilock Duo, Вы можете сочетать комбинацию следующих технологических процессов травления и осаждения:
- PR Strip (photoresist strip) – плазмохимическое удаление фоторезиста
-
PE (plasma etching) - плазменное травление
- DRIE (deep RIE) - глубокое реактивное травление
- HDCVD (high density CVD) - осаждение из газовой фазы высокой плотности
2. Вакуумный шлюз экономит рабочее время
Вакуумный загрузочный шлюз представляет собой отдельную камеру для загрузки образца. Он обеспечивает безопасность при работе с химикатами. Загрузочный шлюз имеет щелевой клапан для каждого модуля, который позволяет реактору камеры оставаться под вакуумом при перемещении образца из камеры в камеру.
Конструкция шлюза предоставляет новые возможности для оператора технологического процессы: оператор может легко перемещать образец из камеры в камеру без разгерметизации реакторов, что значительно сокращает рабочий процесс.
В системе также имеется роботизированная рука-манипулятор с приводным механизмом перемещения, которая обеспечивает высокую надёжность и точность загрузки.
3. Технологические процессы
· Травление опасными, токсичными и самовоспламеняющимися газами (Cl2,BCl3, SiCl4, HBr);
· Пленки для нанесения: оксиды, нитриды, оксинитриды, аморфный кремний и карбид кремния.
Цена на систему травления и осаждения
Minilock DUO выгодно отличается по цене от аналогичных систем конкурентов. Для более подробной информации обращайтесь в Департамент аналитического оборудования, вопросы и заявки отправляйте на e-mail: sk@sernia.ru.
Заказ товаров
Сделать заказ товара можно несколькими способами:
- Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
- Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.
Оплата товара
Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).
Доставка товара
Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.
Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.
