Диаметр позиционируемого образца (мм): 75/100/150/200 мм Перемещения микроскопа (мм): от 50*50 до 200*200
Станции двойного зондирования (DSP) SEMIPROBE на базе Probe System for Life (PS4L) - серия ручных и полуавтоматических систем для зондирования матриц или полупроводниковых пластин.
Держатель образца (мм): 100/150/200 мм Перемещения микроскопа (мм): 50*75
Станции магнитного стимулирования (MSS) SEMIPROBE на базе Probe System for Life (PS4L) для тестирования полупроводников. Имеют контролируемое положение стимулирующего магнитного источника, а также ручной контроль положения тестируемого устройства, контактных зондов и микроскопа.
