Полуавтоматические вакуумные зондовые станции исследовательского, лабораторного или опытно-промышленного назначения. Применение - измерение температуры, постоянных токов, определение вольт-фарадных и вольтамперных характеристик, работа с высокочастотными и оптоэлектронными устройствами, исследование МЭМС и др.
Основные сведения о вакуумных зондовых станциях серии SA-4VP/6VP/8VP SEMIPROBE
Серия SemiProbe SA-4VP/6VP/8VP - это модульные конфигурируемые 100/150/200-миллиметровые полуавтоматические вакуумные зондовые станции, разработанные на базе архитектуры «Probe System for Life» (PS4L). Также имеется возможность тестирования отдельных кристаллов, фрагментов и частей пластин. Все полуавтоматические системы SemiProbe работают под управлением мощного программного комплекса PILOT. Все основные узлы системы зондовой станции являются сменными для обеспечения непревзойденной гибкости настройки системы под нужды пользователя.
В расположенной на антивибрационном столе вакуумной камере находятся столик для образцов, блок держателя образцов с несущей пластиной и манипуляторы. Программируемый столик может перемещаться по осям X и Y до 205 мм х 205 мм, а также может наклоняться и двигаться по оси Z. Доступны несколько вариантов держателей с нагревом и охлаждением, поддерживающими диапазон температур от -65° С до 300° С.
Зондовая станция может быть сконфигурирована для работы с отдельными манипуляторами или зондовыми сборками. Внутри камеры может быть размещено до 8 программируемых манипуляторов, управление которыми осуществляется снаружи дистанционно. В стенках вакуумной камеры имеются смотровые окна, порты и фланцы разных размеров. Смотровые окна и порты могут быть изготовлены из различных материалов.
Для наблюдения за устройством доступно несколько типов оптических систем, которые обычно комплектуются видеокамерой. Оптические системы (микроскопы) размещаются на зондовой станции с помощью специальных креплений, обеспечивающих надежную фиксацию и плавное перемещение. Распространенной конфигурацией является мостовое крепление микроскопа с ходом 50 x 50 мм по осям X, Y и с пневматическим вертикальным подъемом на 80 мм. Помимо микроскопа, на мостовом креплении могут быть размещены такие модули, как лазерные резаки, анализаторы движения МЭМС и инфракрасные черные тела, которые в этом случае также можно перемещать.
Программное обеспечение
PILOT – модульное, интуитивно понятное и простое в освоении ПО. Дополнительные управляющие модули при расширении функций и состава оборудования, могут быть реализованы без внесения изменений в ядро программы. Общие функции, такие как, выравнивание по двум точкам, выполняются пошагово с помощью программного мастера - для того, чтобы сделать возможной работу даже для необученного пользователя. Для неопытных операторов или в случае установки образцов, имеется возможность управления перемещением с помощью джойстика.
Интеграция с контрольно-измерительными приборами
Это мощное ПО на основе библиотек DLL позволяет пользователям быстро и легко устанавливать связь с зондовой станцией и контрольно-измерительными приборами. Для LabView, C ++ и Visual Basic доступны полные библиотеки драйверов, со специализированными драйверами для поддержки самых современных инструментов, таких как, например, параметрический анализатор Keithley 4200A-SCS. Связь ПО и оборудования осуществляется по протоколам RS-232, GPIB или TCP/IP, что позволяет зондовой станции выступать в качестве основного или ведомого устройства в случае интеграции с другими системами.
Аксессуары
Для PS4L доступна полная линейка аксессуаров, в том числе держатели зондовых сборок, манипуляторы, кронштейны и держатели зондов, наконечники зондов, тепловые держатели, климатические камеры, лазеры, оптические системы, системы видеонаблюдения, устройства подачи образцов (механизмы автоматической загрузки), антивибрационные столы, светонепроницаемые боксы и многое другое.
Преимущества вакуумных зондовых станций серии SA-4VP/6VP/8VP SEMIPROBE
- От разработки до производства - кристалл, части пластин и целые пластины до 200 мм
- Уникальная архитектура оборудования позволяет конфигурировать системы под любые задачи и для различных бюджетов
- Идеально подходит для МЭМС, датчиков, переключателей, микроболометров и любых других устройств в вакуумном корпусе
Особенности вакуумных зондовых станций серии SA-4VP/6VP/8VP SEMIPROBE
- Полуавтоматические системы для исследования 100/150/200 мм пластин с возможностью апгрейда до более продвинутых версий: для работы с большими размерами пластин или с автоматическим функционалом.
- Программные и аппаратные модули разработаны таким образом, чтобы всегда была возможность их модернизации на месте размещения
- Высокий вакуум - 10-5 торр
Технические характеристики вакуумных зондовых станций серии SA-4VP/6VP/8VP SEMIPROBE
|
Название модели Размер пластины/подложки |
|
SA-4VP 100 мм |
SA-6VP 150 мм |
SA-8VP 200 мм |
|
Wafer Chucks |
Круглый или квадратный - целые пластины или фрагменты, кристаллы |
до 100 мм |
до 150 мм |
до 200 мм |
|
Stage Travel (X,Y) |
Программируемый |
105 мм x 105 мм |
155 мм x 155 мм |
205 мм x 205 мм |
|
Точность |
+/- 3.0 мкм |
|
|
|
|
Разрешение |
0.1 мкм |
|||
|
Повторяемость |
+/- 0.5 мкм |
|||
|
Ход по оси Z |
15 мм |
|||
|
Разрешение по оси Z |
0.5 мкм |
|||
|
Повторяемость по оси Z |
+/- 1.5 мкм |
|||
|
Наклон |
+/- 4 градуса |
|||
|
Двигатели |
Шаговые двигатели постоянного тока с преобразователями |
|||
|
Значение вакуума |
10-5 торр (система рассчитана на длительные операции) |
|||
|
Разъемы для передачи сигналов управления и данных |
Коаксиал, триаксиал или 25-штырьковые коннекторы. Выходные интерфейсы определяются пользователем. Все интерфейсы без усилий монтируются на стандартный вакуумный фланец |
|||
|
Контакт к образцу |
До 8 программируемых манипуляторов (требуется камера с высокой верхней частью) |
|||
|
Зондовые сборки |
Круглые или квадратные – индустриальный стандарт 4.5” x 12” |
|||
|
Верхняя часть камеры |
Две (2) крышки камеры – плоская для использования зондовых сборок и высокая для манипуляторов |
|||
|
Держатели с нагревом/охлаждением |
Доступны различных размеров и температур. Обычно от -65o C до 300o C |
|||
|
Крепление микроскопа |
Крепление – штанговое, штыревое, мостовое или рамное |
|||
|
Перемещение микроскопа |
50 x 50 мм (стандарт) – ручное или программируемое |
|||
|
Перемещение микроскопа по Z |
50 мм - 100 мм - ручное, пневматическое или с программным управлением |
|||
|
Оптические системы |
Микроскопы систем Stereo Zoom, Zoom Tube, A-Zoom или совместимые |
|||
|
Масштабирование |
2x to 40x в зависимости от выбранного микроскопа |
|||
|
Увеличение |
7x to 400x в зависимости от выбранного микроскопа |
|||
|
Смотровые окна |
Кварц, ZnSw, Ge, Sapphire, Pyrex – другие по запросу |
|||
|
Покрытие смотровых окон |
Доступны различные виды антиотражающих покрытий |
|||
|
Точный контроль вакуума |
Уровень контроля вакуума от 100 торр до 1 мторр. Используется оборудование MKS Instruments |
|||
|
Система откачки воздуха |
Двухуровневая система, создающая давление до 10-6 торр |
|||
|
Типы насосов |
Типы насосов зависят от требований к оборудованию – роторный, спиральный, турбомолекулярный или компактная сборка TPS (форвакуумный и турбомолекулярный) |
|||
|
Аксессуары |
Манипуляторы, держатели зондов, зонды, держатели зондовых сборок, видеокамеры, лазерные резаки, анализатор движения Polytec MSA-500, ИК черные тела, держатели с нагревом/охлаждением |
|||
| Диаметр позиционируемого образца (мм): | от 100 мм до 200 мм |
| Тип механизма: | полуавтомат |
| Вакуум: | 10-5 торр |
Заказ товаров
Сделать заказ товара можно несколькими способами:
- Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
- Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.
Оплата товара
Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).
Доставка товара
Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.
Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.
