Соединяя науку и технологии office@sernia.ru
пн-пт 10:00 – 19:00
сб-вс выходные
+7 (495) 204 13 17
8 (800) 301 13 17

Вакуумные полуавтоматические зондовые станции серии SA-VP SPECIALTY SYSTEMS

Производитель:
SemiProbe Flag

Полуавтоматические вакуумные зондовые станции исследовательского, лабораторного или опытно-промышленного назначения. Применение - измерение температуры, постоянных токов, определение вольт-фарадных и вольтамперных характеристик, работа с высокочастотными и оптоэлектронными устройствами, исследование МЭМС и др.

Задать вопрос
Цена с НДС:
По запросу
Доставка по всей России бесплатно
Подробнее о доставке здесь
  • Детальное описание
  • Тех.характеристики
  • Оплата и доставка
  • Демонстрация

Основные сведения о вакуумных зондовых станциях серии SA-4VP/6VP/8VP SEMIPROBE

Серия SemiProbe SA-4VP/6VP/8VP - это модульные конфигурируемые 100/150/200-миллиметровые полуавтоматические вакуумные зондовые станции, разработанные на базе архитектуры «Probe System for Life» (PS4L). Также имеется возможность тестирования отдельных кристаллов, фрагментов и частей пластин. Все полуавтоматические системы SemiProbe работают под управлением мощного программного комплекса PILOT. Все основные узлы системы зондовой станции являются сменными для обеспечения непревзойденной гибкости настройки системы под нужды пользователя.

В расположенной на антивибрационном столе вакуумной камере находятся столик для образцов, блок держателя образцов с несущей пластиной и манипуляторы. Программируемый столик может перемещаться по осям X и Y до 205 мм х 205 мм, а также может наклоняться и двигаться по оси Z. Доступны несколько вариантов держателей с нагревом и охлаждением, поддерживающими диапазон температур от -65° С до 300° С.

Зондовая станция может быть сконфигурирована для работы с отдельными манипуляторами или зондовыми сборками. Внутри камеры может быть размещено до 8 программируемых манипуляторов, управление которыми осуществляется снаружи дистанционно. В стенках вакуумной камеры имеются смотровые окна, порты и фланцы разных размеров. Смотровые окна и порты могут быть изготовлены из различных материалов.

Для наблюдения за устройством доступно несколько типов оптических систем, которые обычно комплектуются видеокамерой. Оптические системы (микроскопы) размещаются на зондовой станции с помощью специальных креплений, обеспечивающих надежную фиксацию и плавное перемещение. Распространенной конфигурацией является мостовое крепление микроскопа с ходом 50 x 50 мм по осям X, Y и с пневматическим вертикальным подъемом на 80 мм. Помимо микроскопа, на мостовом креплении могут быть размещены такие модули, как лазерные резаки, анализаторы движения МЭМС и инфракрасные черные тела, которые в этом случае также можно перемещать.

Программное обеспечение 

PILOT – модульное, интуитивно понятное и простое в освоении ПО. Дополнительные управляющие модули при расширении функций и состава оборудования, могут быть реализованы без внесения изменений в ядро программы. Общие функции, такие как, выравнивание по двум точкам, выполняются пошагово с помощью программного мастера - для того, чтобы сделать возможной работу даже для необученного пользователя. Для неопытных операторов или в случае установки образцов, имеется возможность управления перемещением с помощью джойстика. 

Интеграция с контрольно-измерительными приборами 

Это мощное ПО на основе библиотек DLL позволяет пользователям быстро и легко устанавливать связь с зондовой станцией и контрольно-измерительными приборами. Для LabView, C ++ и Visual Basic доступны полные библиотеки драйверов, со специализированными драйверами для поддержки самых современных инструментов, таких как, например, параметрический анализатор Keithley 4200A-SCS. Связь ПО и оборудования осуществляется по протоколам RS-232, GPIB или TCP/IP, что позволяет зондовой станции выступать в качестве основного или ведомого устройства в случае интеграции с другими системами.  

Аксессуары

Для PS4L доступна полная линейка аксессуаров, в том числе держатели зондовых сборок, манипуляторы, кронштейны и держатели зондов, наконечники зондов, тепловые держатели, климатические камеры, лазеры, оптические системы, системы видеонаблюдения, устройства подачи образцов (механизмы автоматической загрузки), антивибрационные столы, светонепроницаемые боксы и многое другое.

Преимущества вакуумных зондовых станций серии SA-4VP/6VP/8VP SEMIPROBE

  • От разработки до производства - кристалл, части пластин и целые пластины до 200 мм
  • Уникальная архитектура оборудования позволяет конфигурировать системы под любые задачи и для различных бюджетов
  • Идеально подходит для МЭМС, датчиков, переключателей, микроболометров и любых других устройств в вакуумном корпусе

Особенности вакуумных зондовых станций серии SA-4VP/6VP/8VP SEMIPROBE

  • Полуавтоматические системы для исследования 100/150/200 мм пластин с возможностью апгрейда до более продвинутых версий: для работы с большими размерами пластин или с автоматическим функционалом.
  • Программные и аппаратные модули разработаны таким образом, чтобы всегда была возможность их модернизации на месте размещения
  • Высокий вакуум - 10-5 торр 

Технические характеристики вакуумных зондовых станций серии SA-4VP/6VP/8VP SEMIPROBE


Название модели

Размер пластины/подложки

 

SA-4VP

100 мм

SA-6VP

150 мм

SA-8VP

200 мм

Wafer Chucks

Круглый или квадратный - целые пластины или фрагменты, кристаллы

до 100 мм

до 150 мм

до 200 мм

Stage Travel (X,Y)

Программируемый

105 мм x 105 мм

155 мм x 155 мм

205 мм x 205 мм

Точность               

+/- 3.0 мкм

 

 

 

Разрешение

0.1 мкм

Повторяемость

+/- 0.5 мкм

Ход по оси Z

15 мм

Разрешение по оси Z

0.5 мкм

Повторяемость по оси Z

+/- 1.5 мкм

Наклон

+/- 4 градуса

Двигатели

Шаговые двигатели постоянного тока с преобразователями

Значение вакуума

10-5 торр (система рассчитана на длительные операции)

Разъемы для передачи сигналов управления и данных

Коаксиал, триаксиал или 25-штырьковые коннекторы. Выходные интерфейсы определяются пользователем. Все интерфейсы без усилий монтируются на стандартный вакуумный фланец

Контакт к образцу

До 8 программируемых манипуляторов (требуется камера с высокой верхней частью)

Зондовые сборки

Круглые или квадратные – индустриальный стандарт 4.5” x 12”

Верхняя часть камеры

Две (2) крышки камеры – плоская для использования зондовых сборок и высокая для манипуляторов

Держатели с нагревом/охлаждением

Доступны различных размеров и температур. Обычно от -65o C до 300o C

Крепление микроскопа

Крепление – штанговое, штыревое, мостовое или рамное

Перемещение микроскопа

50 x 50 мм (стандарт) – ручное или программируемое

Перемещение микроскопа по Z

50 мм - 100 мм - ручное, пневматическое или с программным управлением

Оптические системы

Микроскопы систем Stereo Zoom, Zoom Tube, A-Zoom или совместимые

Масштабирование

2x to 40x в зависимости от выбранного микроскопа

Увеличение

7x to 400x в зависимости от выбранного микроскопа

Смотровые окна

Кварц, ZnSw, Ge, Sapphire, Pyrex – другие по запросу

Покрытие смотровых окон

Доступны различные виды антиотражающих покрытий

Точный контроль вакуума

Уровень контроля вакуума от 100 торр до 1 мторр. Используется оборудование MKS Instruments

Система откачки воздуха

Двухуровневая система, создающая давление до 10-6 торр

Типы насосов

Типы насосов зависят от требований к оборудованию – роторный, спиральный, турбомолекулярный или компактная сборка TPS (форвакуумный и турбомолекулярный)

Аксессуары

Манипуляторы, держатели зондов, зонды, держатели зондовых сборок, видеокамеры, лазерные резаки, анализатор движения Polytec MSA-500, ИК черные тела, держатели с нагревом/охлаждением



Диаметр позиционируемого образца (мм): от 100 мм до 200 мм
Тип механизма: полуавтомат
Вакуум: 10-5 торр
Похожие товары
Обратите внимание на похожие модели и аналоги, как альтернативу вашему выбору.

 

  • Оформление заказа
  • Доставка
  • Техподдержка
masyuk.jpg
  • Отправьте запрос на сайте через форму обратной связи «ЗАКАЗАТЬ». Укажите необходимое количество товара и нужный способ доставки, любые другие детали запроса.
  • Отправьте запрос на e-mail am@sernia.ru с темой «Запрос на оборудование», указав необходимое количество товара, сроки и способ доставки, любые другие детали запроса.
  • Позвоните  по телефону  +7 (495) 204-13-17 или  8 (800) 301-13-17 (бесплатный звонок для регионов), доб. 203, контактное лицо - Масюк Алексей Владимирович.

Варианты доставки оборудования:

Доставка SERNIA
  • Доставка транспортной компанией СПСР-экспресс до двери получателя. Стоимость доставки включается в счет;
  • Доставка любой другой транспортной компанией (до двери или до терминала ТК в вашем городе). Оплата доставки осуществляется при получении;
  • Самовывоз (Москва, Воробьевы Горы, Физический факультет МГУ,1, стр.2);
  • Доставка курьером по Москве и ближнему Подмосковью. Стоимость доставки включается в счет.

Сомневаетесь в выборе прибора? Проконсультируйтесь с нашим специалистом по измерительному оборудованию!

kolybin.jpg
  • На все вопросы Вам ответит инженер департамента измерительных комплексов Колыбин Станислав Игоревич.
  • Свяжитесь с ним по тел. +7 (495) 204-13-17 или
  • Отправьте письмо на e-mail: info@sernia.ru с указанием темы «Тех. консультация».
  • В письме укажите Ваш контактный телефон. Инженер свяжется с Вами в течении 1 часа.