STACIS III TMC - Активная пьезоэлектрическая система подавления вибраций

Stacis 2100 TMC – активная пьезоэлектрическая система подавления вибраций для СЭМ, ПЭМ, СТМ

На сегодняшний день STACIS является самой передовой системой подавления вибраций. Используя специальные инерциальные датчики и современные пьезоэлектрические приводы, STACIS подавляет вибрации в режиме реального времени: система фиксирует вибрации пола, а затем «гасит» колебания при помощи пьезоэлектрических приводов, начиная с частот от 0,6 Гц.

Это решение, отвечающее всем стандартам отрасли, разработано для самых «чувствительных» приборов, используемых в условиях с различными колебаниями. Так, эффективность затуханий колебаний на частотах от 1 Гц до 1,9 Гц составляет 50%-80%, а на частотах от 2 Гц эффективность затуханий повышается до 90%.

STACIS подходит для инсталляции в любом месте, где уровень вибрации близок или превышает параметры, рекомендованные для электронных приборов. В данной системе нет так называемой «мягкой подвески», и приборы с внутренней системой амортизации могут быть установлены сверху на STACIS, позволяя двум системам работать в полную силу. Обычно STACIS комплектуется 3-мя монтажными стойками. Однако, для более массивных инструментов возможно использование 4 или даже 6 монтажных стоек.

Применение STACIS 2100

Данная система разработана для эксплуатации с различными типами электронных и ионныхвиброзащита оборудования микроскопов. Обладая более привлекательными характеристиками по сравнению с воздушными- системами подавления вибраций, STACIS не привязан к системам подачи воздуха. В отличие от активных воздушных систем, эти системы могут быть размещены более компактно. Были проведены сотни успешных инсталляций по всему миру. Система STACIS является эффективной системой виброизоляции для большинства чувствительных к вибрациям инструментов.микроскопов с целью компенсирования вибраций и обеспечения высокого разрешения микроскопа. STACIS также будет полезен в микролитографии, метрологии, в при производстве полупроводников. STACIS - целостное промышленное решение для перегруженных вибрациями точных производств.

Особенности и преимущества:

• Затухание колебаний от 0,6 Гц, при 1 Гц эффективность затуханий 40-70%
• На частотах от 2 Гц эффективность затуханий составляет 90%, вертикальные и горизонтальные колебания
• Сокращает затраты на строительство помещений под использование высокоточных приборов
• Активный частотный диапазон от 0,6 Гц до 150 Гц
• Система рекомендована для использования многими производителями высокоточных приборов
• Устанавливается до 6 монтажных стоек
• Легко монтируется, надежная система контроля
• Может использоваться с интегрированными системами подавления вибраций
• Обеспечивает вибрационные критерии, предъявляемые к высокоточным приборам
• Использует технологию STACIS®, запатентованную компанией TMC
• Позволяет использовать высокоточное оборудование на высоких этажах с большими помехами
• Совместима с различными по высоте и геометрии этажами производственных помещений
• Повышает производительность, качество изображений и результат.

Консультация специалиста по выбору виброзащиты для оборудования

Для правильного выбора системы свяжитесь с нашими специалистами. На все вопросы по виброзащите для высокоточного оборудования Вам ответит Пуртов Илья Олегович, менеджер по работе с клиентами Департамента "Аналитическое оборудование и Микроэлектроника", тел.+7-495-932-92-42, e-mail: ip@sernia.ru.