Electro-Damp II TMC - Активная пневматическая система подавления вибраций

Electro-Damp® представляет собой активную пневматическую систему виброзащиты, разработанную специально для улучшения условий высокоточных полупроводниковых производственных площадок.

Electro-Damp® II – это более современная модификация вышеупомянутой системы, получившая модульность, цифровое управление прямой связи, приводы нового поколения и возможность выбора интерфейса для работы применительно к конкретному технологическому процессу (например,микролитография или контроль отказов).

Производство полупроводников требует скрупулезного подхода к организации процесса. К примеру, система подавления вибраций должна быть избирательной для того, чтобы существовала возможность подавления как эпизодических вибраций, так и вибрационного шума здания, в котором находится площадка.

Устройство виброзащиты в Electro DampII 

Electro-Damp II использует как инерционные механизмы, так и механизмы активного отклика. Контроллеры, анализируя вибрации, просчитывают по характеру их изменения и по периодичности определяют возможное состояние вибрационного фона в ближайшей перспективе; это позволяет целесообразно использовать мощности системы подавления и обеспечивать минимальную амплитуду изменений вибрационного фона.

Модульная система подавления вибраций

Модульность Electro-Damp® II позволяет выполнять систему в двух вариантах – для тяжелых производственных машин, работающих на низких оборотах и для более компактных объектов (как правило, лабораторного и исследовательского характера).
Для взыскательных пользователей существует возможность совмещения этих двух опций, что позволяет системе Electro-Damp® II решать больше задач.

Особенности и преимущества системы виброизоляции:

• Обеспечивает улучшение ключевых характеристик технологического процесса: точность, разрешение, уменьшает процент брака.
• Модульность структуры ПО и физической составляющей системы позволяют пользователю, исходя из его задач, выбрать наиболее эффективную конфигурацию.
• Возможность оптимизации работы путем использования механизмов активного отклика.

Консультация специалиста по выбору виброзащиты и заказ оборудования

Для правильного выбора системы свяжитесь с нашими специалистами. На все вопросы по виброзащите для высокоточного оборудования Вам ответит Пуртов Илья Олегович, менеджер по работе с клиентами Департамента "Аналитическое оборудование и Микроэлектроника", тел.+7-495-932-92-42, e-mail: ip@sernia.ru.