пн-пт  10:00 - 19:00

Minilock ALD Trion - установка для осаждения тонких пленок в тепловом и плазменном режимах

Minilock ALD — установка для осаждения тонких пленок в тепловом и плазменном режимах

Все характеристики
Производитель: Trion Technology Flag
Цена по запросу
Отправить запрос на КП
Задать вопрос
Доставка
Бесплатно по всей России
Подробнее
Minilock ALD — установка для осаждения тонких пленок в тепловом и плазменном режимах
Описание
Характеристики
Документы
Оплата и доставка
Описание

Описание установки для осаждения пленок Minilock ALD

Система Minilock ALD была разработана, чтобы предоставить исследователям возможность выращивать пленки атомно-слоевогоо осаждения в тепловом и плазменном режимах. Система стандартно сконфигурирована для пластин до 200 мм, также доступен вариант до 300 мм. Атомно-слоевое осаждение (АСО) (англ. Atomic Layer Deposition (ALD)) — это технология осаждения тонких плёнок, в котором происходят последовательные химические реакции, в результате которых осаждается равномерная тонкая плёнка материала на подложке из разных материалов. Этот процесс саморегулирующийся – это означает, что количество осаждённого материала в каждом цикле реакции является постоянным.

Особенности Minilock ALD

Особенность Minilock ALD в том, что разработчики добились улучшения характеристик усовершенствованием системы добавив в нее плазменный модуль. Ниже представлены две таблицы Менделеева, где указаны материалы, которые можно выращивать в обычных системах ALD (рис.1) и в системе Minilock ALD (рис.2). Как видно на рисунках, теперь исследователям доступно больше материалов для новых изысканий и развития технологической базы.

Табл 1_TRION MInilock ALD.jpg

Рисунок 1

Табл 2_TRION MInilock ALD.jpg

Рисунок 2

Основные модули установки Minilock ALD

Интерфейс

Интерфейс с сенсорным экраном в любое время предоставляет оператору полную информацию о процессе, а интуитивно понятный программный интерфейс значительно упрощает работу, так как в нем заложена логиская последовательность для постановки процессов.

Minilock ALD_display.png

Реактор

Особенности реактора: катод и анод изготовлены из отдельных алюминиевых блоков, что снижает вероятность утечек вакуума. Нагревательные стержни встроены в камеру, температуру которой можно регулировать в диапазоне 30–120 ° C для повышения воспроизводимости процесса и уменьшения отложений на боковых стенках.

Сосуды с прекурсорами

На крышке камеры можно установить до восьми сосудов с прекурсорами. Температуру каждого прекурсора можно независимо контролировать с помощью программного обеспечения. Кроме того, в источнике ICP или MW имеются входные отверстия для газа, а также имеется дополнительная точка входа в камеру для использования с газовым кольцом, соединенным с ситемой для подачи газа.

Источник плазмы

Источник индуктивно связанной плазмы был разработан для обеспечения быстрого воздействия плазмой при очень малых мощностях. Для расширенных экспериментальных исследований имеется возможность установить дополнительный источник микроволновой плазмы (может быть установлен как часть системы вместо ICP).

Газовый шкаф

В газовом шкафу используются самозакрывающиеся дверцы и предусмотрена продувка азотом для токсичных или коррозионных газов, а также там можно разместить более крупные прекурсоры и материалы, требующие барботирования. Существует возможность выращивания более толстых пленок с помощью HDCVD или PECVD путем добавления TEOS, DES или силана.

Вакуумный шлюз

Вакуумный шлюз представляет собой отдельную камеру для загрузки образцов, который позволяет камере реактора оставаться под вакуумом. Загрузка образцов осуществляется роботизированной рукой с механизмом подбора и установки с прямым приводом, который обеспечивает высокую надежность и точность размещения образца внутри камеры.

*У системы имеются различные опции и возможности расширения исследовательского функционала. Более подробная информация предоставляется по запросу.


Характеристики
Размер пластины: 200 мм (опц.300 мм)
Технологический процесс : HDCVD / PECVD
Документы
Оплата и доставка
  • Отправьте запрос на сайте через форму обратной связи «ЗАКАЗАТЬ». Укажите необходимое количество товара и нужный способ доставки, любые другие детали запроса
  • Отправьте запрос на e-mail am@sernia.ru с темой «Запрос на оборудование», указав необходимое количество товара, сроки и способ доставки, любые другие детали запроса.
  • Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный звонок для регионов), доб. 203, контактное лицо - Масюк Алексей Владимирович.