Minilock Duo Trion – компактная система плазмохимического травления или осаждения.
Имеет 2 реактора, каждый из которых можно использовать под следующие процессы травления или осаждения: PR Strip, RIE, PE, ICP, DRIE, PECVD, HDCVD.
- Детальное описание
- Документация
- Оплата и доставка
Описание системы плазмохимического травления и осаждения
Minilock Duo Trion – компактная система плазмохимического травления или осаждения. Состоит из двух независимых модуля, предусмотренных для проведения технологических процессов. Каждый из модулей соединен с вакуумным загрузочным шлюзом, который представлен в виде отдельного блока.
ОСОБЕННОСТИ И ПРЕИМУЩЕСТВА
1.Процессы травления и осаждения в одной системе
Используя Minilock Duo, Вы можете сочетать комбинацию следующих технологических процессов травления и осаждения:
- PR Strip (photoresist strip) – плазмохимическое удаление фоторезиста
-
PE (plasma etching) - плазменное травление
- DRIE (deep RIE) - глубокое реактивное травление
- HDCVD (high density CVD) - осаждение из газовой фазы высокой плотности
2. Вакуумный шлюз экономит рабочее время
Вакуумный загрузочный шлюз представляет собой отдельную камеру для загрузки образца. Он обеспечивает безопасность при работе с химикатами. Загрузочный шлюз имеет щелевой клапан для каждого модуля, который позволяет реактору камеры оставаться под вакуумом при перемещении образца из камеры в камеру.
Конструкция шлюза предоставляет новые возможности для оператора технологического процессы: оператор может легко перемещать образец из камеры в камеру без разгерметизации реакторов, что значительно сокращает рабочий процесс.
В системе также имеется роботизированная рука-манипулятор с приводным механизмом перемещения, которая обеспечивает высокую надёжность и точность загрузки.
3. Технологические процессы
· Травление опасными, токсичными и самовоспламеняющимися газами (Cl2,BCl3, SiCl4, HBr);
· Пленки для нанесения: оксиды, нитриды, оксинитриды, аморфный кремний и карбид кремния.
Цена на систему травления и осаждения
Minilock DUO выгодно отличается по цене от аналогичных систем конкурентов. Для более подробной информации обращайтесь в Департамент аналитического оборудования, вопросы и заявки отправляйте на e-mail: sk@sernia.ru.
