Производитель:
Trion Technology
Компактная, недорогая универсальная установка для удаления фоторезиста, которая обрабатывает пластины размером 100-300 мм.
- Детальное описание
- Оплата и доставка
Установки плазмохимического удаления фоторезиста Apollo Stripper Trion
Apollo Stripper — компактная, недорогая универсальная установка плазмохимического удаления фоторезиста, которая обрабатывает пластины размером 100-300 мм. Используя технологии ICP или Microwave и ВЧ-генератор в зависимости от необходимости, слои фоторезиста легко удаляются даже при низкой температуре. В соответствие с требованиями заказчика в систему может входить SST микроволновый источник (надежный и свободный от типичных проблем, связанных с микроволновой настройкой).
ОСОБЕННОСТИ УСТАНОВКИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО УДАЛЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА APPOLLO STRIPPER:
- Скорость травления: до 6 мкм/мин.
- Минимальное повреждение образца плазмой.
- Самоподстройка отраженной мощности.
- Пластины от 100 мм до 300 мм.
- Малые размеры.
ПРИМЕНЕНИЕ УСТАНОВКИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО УДАЛЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА:
- МЕМС,
- полупроводниковые соединения,
- опытное производство.
ТРЕБОВАНИЯ К ПОДАЧЕ ГАЗОВ ДЛЯ УСТАНОВКИ APOLLO STRIPPER TRION:
Пользователь должен обеспечить подачу технологических газов к системе в соответствии с требованиями ТБ РФ.
- КОЛИЧЕСТВО ГАЗОВ: определяется технологическими процессами
- ДАВЛЕНИИ В ЛИНИИ: 1-3 атм.
- ТРУБОПРОВОД: стальная трубка для чистых газов с электрополировкой
- ТИП СОЕДИНЕНИЯ: VCR.
Похожие товары
Обратите внимание на похожие модели и аналоги, как альтернативу вашему выбору.
