Системы электронно-лучевого напыления, травления, осаждения материалов

Диаметр стандартных камер : 350, 400, 450, 600 или 900 мм
Тип напыления: реактивный/нереактивный
Нагрев подложки: до 1000С

Установки Plassys для синтеза  кубитовых устройств. Разработки компании PLASSYS соответствуют уровню стремительно развивающейся технологии создания кубитовых объектов и представлены серией систем, специально разработанных для формирования джозефсоновских переходов.

Рабочее давление: до 300 мбар или более
Микроволновый генератор: 6 кВт (импульсный режим источника)
Газовые линии : 4, дополнительно по запросу
Держатель подложки : 2"
Бихроматический ИК-пирометр: 475 – 1475 °C
Базовое давление в реакторе: 5×10-7 Мбар

Установка MV-PACVD SSDR 150 Plassys представляет собой микроволновый плазменный реактор, предназначенный для синтеза алмазной пленки и драгоценных камней. Используя плазму высокой плотности, реактор позволяет получать алмазные пленки высокой чистоты с высокой скоростью роста.

MEB 550 S Plassys позволяет проводить осаждение слоёв без повреждений поверхности и обратную литографию. Система имеет 6-киловаттный источник электронов, шлюзовую камера и держатель для пластин диаметром 10 см и менее.
Система электронно-лучевого напыления MEB 550 S предназначена для исследований и разработок. Данное оборудование имеет отличную репутацию во всем мире.