пн-пт  10:00 - 19:00
г. Москва
+7 (495) 204 13 17
г. Санкт-Петербург
+7 (812) 509 20 91

Высоковакуумные/ультравысоковакуумные установки напыления Plassys модель "MP"

Производитель:
Plassys
Задать вопрос
Цена с НДС:
По запросу
Доставка по всей России бесплатно
Подробнее о доставке здесь
  • Детальное описание
  • Тех.характеристики
  • Документация
  • Оплата и доставка

Высоковакуумные/ультравысоковакуумные установки напыления покрытий серии MP PLASSYS 

Основные свойства и характеристики установок напыления серии MP

  • Камера цилиндрической или прямоугольной формы, с фронтальным или верхним расположением дверцы;
  • Диаметр стандартных камер – 350, 400, 450, 600 или 900 мм;
  • Шлюзовой загрузчик двух типов: обеспечивающий загрузку одиночных пластин или одновременно нескольких пластин (кассетного типа);
  • Магнетроны постоянного или высокочастотного переменного тока прямоугольной или круглой формы;
  • Конфигурации с верхним или нижним расположением магнетронов;
  • Создание кластерных систем, конфокальное расположение источников, одновременное напыление нескольких материалов;
  • Статическое и динамическое окисление во время осаждения, планетарное вращение, вертикальные перемещения держателя подложек;
  • RF/DC смещение на подложку;
  • Нагрев подложки до 1000°C.

Области применения установок напыления серии MP

  • Нанесение однослойных и многослойных тонких пленок;
  • Магнитные пленки;
  • Оптические покрытия;
  • Защитные покрытия;
  • Совместное напыление различных материалов.  

Диаметр стандартных камер : 350, 400, 450, 600 или 900 мм
Тип напыления: реактивный/нереактивный
Нагрев подложки: до 1000С