Производитель:
Plassys
- Детальное описание
- Тех.характеристики
- Документация
- Оплата и доставка
Высоковакуумные/ультравысоковакуумные установки напыления покрытий серии MP PLASSYS
Основные свойства и характеристики установок напыления серии MP
- Камера цилиндрической или прямоугольной формы, с фронтальным или верхним расположением дверцы;
- Диаметр стандартных камер – 350, 400, 450, 600 или 900 мм;
- Шлюзовой загрузчик двух типов: обеспечивающий загрузку одиночных пластин или одновременно нескольких пластин (кассетного типа);
- Магнетроны постоянного или высокочастотного переменного тока прямоугольной или круглой формы;
- Конфигурации с верхним или нижним расположением магнетронов;
- Создание кластерных систем, конфокальное расположение источников, одновременное напыление нескольких материалов;
- Статическое и динамическое окисление во время осаждения, планетарное вращение, вертикальные перемещения держателя подложек;
- RF/DC смещение на подложку;
- Нагрев подложки до 1000°C.
Области применения установок напыления серии MP
- Нанесение однослойных и многослойных тонких пленок;
- Магнитные пленки;
- Оптические покрытия;
- Защитные покрытия;
- Совместное напыление различных материалов.
| Диаметр стандартных камер : | 350, 400, 450, 600 или 900 мм |
| Тип напыления: | реактивный/нереактивный |
| Нагрев подложки: | до 1000С |
Похожие товары
Обратите внимание на похожие модели и аналоги, как альтернативу вашему выбору.
