Установка электронно-лучевого напыления со шлюзовой камерой MEB 550 S Plassys - купить, узнать цену

Производитель:

MEB 550 S Plassys позволяет проводить осаждение слоёв без повреждений поверхности и обратную литографию. Система имеет 6-киловаттный источник электронов, шлюзовую камера и держатель для пластин диаметром 10 см и менее.
Система электронно-лучевого напыления MEB 550 S предназначена для исследований и разработок. Данное оборудование имеет отличную репутацию во всем мире.

Задать вопрос

Цена с НДС:

По запросу

Доставка по всей России бесплатно

Подробнее о доставке здесь

Детальное описание
Документация
Оплата и доставка

MEB 550 S Plassys - система электронно-лучевого напыления металлов со шлюзовой камерой

Модель MEB 550 S Plassys позволяет проводить деликатное осаждение слоёв без повреждений поверхности для литографии методом "взрыва" (lift-off). Система снабжена 6-ти киловаттным источником, шлюзовой камерой и держателем для пластин диаметром 4" (100 мм) (в стандартной комплектации, другие размеры по запросу). Система полностью автоматизирована и работает под управлением промышленного компьютера на Windows 7. Все управляющие блоки расположены на одной стойке 19" стандарта.

Автоматизация процесса откачки, предварительной обработки поверхности, напыления и окисления позволяет снизить влияние человеческого фактора при работе оператора. Системы Plassys очень надежны и сделаны из высококачественных материалов, что ведет к безотказной работе оборудования.

Конфигурация MEB 550 S Plassys

Система включает в себя:

камеру с высоким вакуумом;
электронно-лучевой источник с мульти-позиционным тиглем револьверного типа;
загрузочную камеру с ионным источником для предварительной обработки и окисления.

Области применения MEB 550 S Plassys

Литография методом "взрыва" (lift-off);
Транзисторы с высокой подвижностью электронов;
Омические контакты и контакты Шоттки на GaN;
ИК-волноводы;
Термобарьерные технологии;
Магнитные материалы для СВЧ систем;
Корпусирование MEMS;
переходы Джозефсона.

Технические особенности системы MEB 550 S Plassys

Система напыления:

Цилиндрическая камера с дверцей;
Шлюзовая камера с возможностью предварительной обработки подложек (ионное травление, нагрев, окисление);
Диаметр образца до 8" (200 мм);
Возможные источники: резистивный, индуктивный, электронный-лучевой;
Держатели образца: с нагревом, с охлаждением (в том числе до температур жидкого азота), с возможностью вращения и наклона;
Ионный источник для режима ионного травления или напыления с ионным ассистированием;
Автоматическое и полуавтоматическое управление для производства.

Камера для образцов:

Камера закреплена на прочной стальной раме. Камера с внутренней электрополировкой, распашная дверь крепится на шарнирах. Дверца камеры оборудована поляризационным смотровым окном и регулируемой задвижкой для настройки электронного луча. Сменные защитные панели из нержавеющей камеры легко снимаются для проведения регламентных процедур очистки от переопыления.

Технические характеристики системы электронно-лучевого напыления MEB 550 S Plassys

Технические характеристики камеры вакуумного напыления

Наименование	Описание
Электронно-лучевой источник	Электронная пушка револьверного типа; 1, 4, 6, 8 или 12 тиглей объемом от 2 до 500 см³; Для UHV применения возможна опционально электронная пушка с линейным мульти-тиглем 6 КВт 15 см³ x 5 тиглей; Импульсный твердотелый источник питания для электронной пушки; Стабильность ускоряющего напряжения ± 0.25% при 10 кВ; Стабильность эмиссионного пучка ± 0.5 %; Контроллер развертки луча - цифровой, программируемого типа; Паттерны развертки луча - 32; Выходной ток - 5A; Диапазон частот - 500 Гц (max.); Программируемая развертка для каждого тигля.
Камера	Распашная дверь: дает возможность для быстрого и удобного технического обслуживания; Окно просмотра: 4.5" с поляризационными фильтрами.
Вакуумный насос	Ø8: Крионасос (стандартная комплектация); Ø8" Турбомолекулярный насос на магнитном подвесе с LN2 ловушкой (опция); Ø8" Пневматический затвор с сильфонным уплотнением; 35 м³/ч Сухой спиральный насос (стандартная комплектация).

Наименование

Описание

Электронно-лучевой источник

Электронная пушка револьверного типа; 1, 4, 6, 8 или 12 тиглей объемом от 2 до 500 см³;
Для UHV применения возможна опционально электронная пушка с линейным мульти-тиглем 6 КВт 15 см³ x 5 тиглей;
Импульсный твердотелый источник питания для электронной пушки;
Стабильность ускоряющего напряжения ± 0.25% при 10 кВ;
Стабильность эмиссионного пучка ± 0.5 %;
Контроллер развертки луча - цифровой, программируемого типа;
Паттерны развертки луча - 32;
Выходной ток - 5A;
Диапазон частот - 500 Гц (max.);
Программируемая развертка для каждого тигля.

Камера

Распашная дверь: дает возможность для быстрого и удобного технического обслуживания;
Окно просмотра: 4.5" с поляризационными фильтрами.

Вакуумный насос

Ø8: Крионасос (стандартная комплектация);
Ø8" Турбомолекулярный насос на магнитном подвесе с LN2 ловушкой (опция);
Ø8" Пневматический затвор с сильфонным уплотнением;
35 м³/ч Сухой спиральный насос (стандартная комплектация).

Технические характеристики загрузочной камеры/обработка поверхности

Наименование	Описание
Подложкодержатель	Размер подложки Ø3" (опция), Ø4" (стандарт), Ø6" (опция), Ø8" (опция); Нагрев подложки 700°C (опция); Охлаждение подложки с помощью жидкого азота (опция); Наклон -90° / +250°, точность 0.01°C; Вращение 5 об/мин, воспроизводимость положения 0.1°; Вакуумные уплотнения - витоновые кольцевые уплотнители.
Скорость напыления	- Кварцевый резонатор для контроля скорости и толщины напыления
Ионный источник для обработки (опция)	Стандартный Ø4 см или Ø8 см сеточный ионный источник типа Кауфмана; 2 контроллера массового расхода для O2 и Ar.
Процесс окисления	Статическое окисление: линия O2 с игольчатым клапаном; Давление окисления до 750 Torr; Динамическое окисление: линия O2 с контролем массового расхода с дроссельной откачкой.
Вакуумная система	Ø8″ Крионасос с компрессором / Гибридный турбонасос 400 л/с, сухой насос 10 м³/ч (стандартная комплектация)

Габариты и вес

Размеры камеры (мм)	450550550
Размеры занимаемой площади (мм)	225617501700

Вес (кг)

800 кг

pdf

Техническое описание_MEB 550 S Plassys.pdf

(PDF, 700.42 КБ)

pdf

ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ И ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК PLASSYS.pdf

(PDF, 1.93 МБ)