Соединяя
науку и технологии office@sernia.ru
8 (800) 301-13-17
+7 (495) 204-13-17

Сканирующая электронная микроскопия (СЭМ)

Выбрать Категорию
Количество на странице:
20


Сканирующая электронная микроскопия

Сканирующая электронная микроскопия, СЭМ или растровая электронная микроскопия, РЭМ (Scanning Electron Microscopy, SEM) является одним из наиболее широко используемых для диагностики наноматериалов и наноструктур методов. Предел разрешения сканирующего электронного микроскопа приближается к нескольким нанометрам, а увеличение легко варьируется от ~10 до более 300000. СЭМ не только предоставляет сведения о топографии поверхности, как обычные оптические микроскопы, но и обеспечивает информацией о химическом составе приповерхностной области.

Принцип работы СЭМ

При этом методе микроскоп сканирует исследуемый образец электронным лучом и измеряет интенсивность квантов, испускаемых образцом. Измерен­ная интенсивность преобразуется в электрический сигнал. Принцип работы СЭМ/РЭМ следующий: электроны, испускаемые электронной пушкой ускоряются до энергии 2-40 кэВ; набор магнитных линз и отклоняющих катушек сканирования формирует электронный пучок малого диаметра, разворачиваемый в растр на поверхности образца. При облучении этой поверхности электронами возбуждаются три типа излучения: отраженные или обратно-рассеянные электроны, вторичные электроны, рентгеновские лучи. 

Исследования с помощью СЭМ

По сравнению с оптическими микроскопами характеризуется более высокими пространственным разрешением и глуби­ной резкости, а также возможностью проведения химического анализа на основе регистрации спектра  излучения, генерируемого при облучении поверхности образца электронным пучком. SEM подходит для определения геометрических характеристик анализируемых объектов - резкость гра­ниц топологических рисунков, расстояние между элементами микрообъектов, степень рассовмещения и т.д.

СМОТРЕТЬ МИКРОСКОПЫ>>

Примеры СЭМ-изображений

SEM-изображение1_030.jpg2.jpg








e_020.jpge_20.jpg002_036.jpg








002_029.jpg002_002.jpg82071ish_006.jpg








СМОТРЕТЬ МИКРОСКОПЫ>>