Разрешение в горизонт.плосткости: до 1 мкм Разрешение по глубине: до 20 мкм Модельный ряд: ELITE DX, ELITE VX, ELITE Lite Тестируемые устройства: Кристаллы микросхемы, печатные платы, модули, корпуса, пластины, части пластин Детектируемые дефекты: короткие замыкания, утечки, резистивные обрывы
Линейка термоэмиссионных микроскопов с высокочувствительной инфракрасной-камерой (ИК-камерой). Подходят для сквозного проектирования корпусов и обнаружения электрических дефектов на кристалле микросхемы или печатной плате.
Количество позиционеров зондов: 8 Размеры образца (max): до 50 мм Разрешение колонны СЭМ: до 200 эВ Поле обзора колонны СЭМ (FOV): +/- 100 мкм
Бюджетная, эффективная и простая в использовании установка для нанотестирования на базе сканирующего электронного микроскопа.
Обеспечивает измерение электрических характеристик, локализацию сбойных узлов, отладку и анализ отказов.
Установка Hyperion II – это атомно-силовой зондирующий микроскоп (AFP), построенный на базе нанозондовой платформы, в котором используется несколько сканирующих зондов для визуализации топологии тестируемого устройства и установления электрического контакта с исследуемым объектом.
Атомно-силовой зондирующий микроскоп Hyperion II Thermo Fisher Scientific предназначен для быстрого тестирования полупроводниковых устройств и отображения токов.
Разрешение: 7 нм Количество позиционеров зондов: 8 Размеры образца (max): до 50 мм Разрешение колонны СЭМ: до 200 эВ Поле обзора колонны СЭМ (FOV): +/- 100 мкм
Передовая высокопроизводительная нанозондовая система на базе сканирующего микроскопа для процессов изготовления полупроводниковых приборов, отладки проектов и анализа отказов. Параметр измерения электрических характеристик и локализации дефектов электрических узлов с геометрическими с разрешением - до 7 нм.
