Соединяя
науку и технологии office@sernia.ru
8 (800) 301-13-17
+7 (495) 204-13-17

flexPROBER- зондовая установка на базе СЭМ

flexPROBER- зондовая установка на базе СЭМ
Цена: По запросу
Производитель: Thermo Fisher Scientific Flag

Бюджетная, эффективная и простая в использовании установка для нанотестирования на базе сканирующего электронного микроскопа.
Обеспечивает измерение электрических характеристик, локализацию сбойных узлов, отладку и анализ отказов.


  • Описание
  • Характеристики

Зондовая установка flexProber Thermo Fisher Scientific

Это новейшая нанозондовая платформа на базе сканирующего электронного микроскопа. Обеспечивает измерение электрических характеристик и локализацию сбойных узлов в ходе разработки устройств, отладки проектов и анализа отказов.

Платформа основана на совместном применении наноманипуляторов SteadFast™, сканирующего электронного микроскопа (СЭМ) и колонны высокого разрешения LEEN™. Управление, снятие результатов и анализ осуществляется посредством управляющего программного обеспечения (ПО) NM™ и ПО автоматизации eFast™. Данный инструментарий обеспечивает интеграцию зондов, СЭМ и параметрического анализатора для повышения эффективности работы, а также дает точное, повторяемое и стабильное размещение зондов в критических узлах. 

Состав flexProber Thermo Fisher Scientific

Платформа основана на применении в едином комплексе:


  • 8 наноманипуляторов SteadFast™;
  • высокоточного столика для образцов размерами до 50 мм;

  • Платформа Thermo Scientific™  flexProber™ содержит восемь (8) SteadFast позиционеров зондов и высокоточный столик для образцов. На столике можно разместить 1 образец с размерами до 50 мм или несколько образцов размерами, суммарно не превышающих 50 мм. Наноманипуляторы SteadFast обладают высокой повторяемостью перемещений, что позволяет пользователям эффективно проводить прецизионное электрическое тестирование отдельных транзисторов. 


  • сканирующего электронного микроскопа (СЭМ);
  • колонны высокого разрешения LEEN™;

  • Колонна СЭМ LEEN специально разработана для решения задач нанотестирования. Данная колонна обеспечивает высокое разрешение при энергиях пучка вплоть до 200 эВ с полем обзора (FOV) ±100 мкм, что позволяет уменьшить негативное воздействие луча на чувствительные образцы.


  • управляющего программного обеспечения (ПО) NM™;
  • ПО автоматизации eFast™;

  • Совместимое управляющее ПО NM содержит настройки ключевых параметров СЭМ и опцию создания планов измерений в единой оболочке, что повышает эффективность эксплуатации и снижает сложность системы. 
    ПО автоматизации eFast поддерживает направленный рабочий процесс, который пошагово ведет пользователя от одной типичной задачи нанотестирования к другой.


  • in situ инструмента для финальной подготовки образца (опционально);
  • небольшой загрузочный шлюз для быстрой смены образцов.

  • Платформа flexProber имеет небольшой загрузочный шлюз для быстрой смены образцов. Усовершенствованная система защиты от загрязнений Optimizer® (патент США 5,510,624), встроенная в загрузочный шлюз, предназначена для удаления загрязнений с поверхности образца. Платформа flexProber может быть дополнена опциональным in situ инструментом для финальной подготовки образца, что позволит сократить количество этапов пробоподготовки.

    Основные преимущества flexProber Thermo Fisher Scientific

    • Стабильность, высокая скорость, хорошая повторяемость перемещения зондов и их низкий дрейф позволяют выполнять стабильные электрические измерения;
    • Встроенная система контроля, направляемая последовательность рабочих операций, программное управление измерениями и настройками СЭМ увеличивают эффективность работы;
    • Колонна СЭМ, специально предназначенная для нанотестирования. Высокое разрешение при низких значениях ускоряющего напряжения, большое поле обзора.

    Область применения flexProber Thermo Fisher Scientific   

    • Измерение постоянного тока

      ПО DC Measurement (DCM) позволяет пользователям легко создавать, сохранять и запускать электрические тесты через главный пользовательский интерфейс платформы flexProber . Система измерения постоянного тока включает промышленный девяти- (9) канальный параметрический анализатор с низким уровнем шума. Результаты измерений (таблицы и графики), автоматически вычисляемые параметры тестируемого устройства, тестовые настройки и изображения автоматически записываются в ходе теста, сохраняются вместе и доступны для последующего использования через ПО DataViewer. Также ПО DataViewer может быть установлено на нескольких пользовательских компьютерах для оффлайн-анализа, обработки и извлечения данных для создания отчета.

    • Измерения импульсных вольтамперных I-V характеристик

      В ходе импульсных I-V измерений строятся графики зависимостей тока от напряжения, которые формируются при подаче на затвор транзистора высокоскоростных сигналов. Этот метод используется для локализации дефектов типа «резистивная перемычка», которые могут быть пропущены после I-V измерений постоянного тока. ПО Test and Measurement (TAM) объединяет управление параметрическим анализатором с высокоскоростным импульсным генератором и осциллографом, в результате чего осуществляется создание, сохранение тестовых настроек и запуск импульсных I-V измерений через управляющее ПО flexProber.

      • Измерение вольт-фарадных C-V характеристик

        Приложение для измерения C-V характеристик в ПО Test and Measurement (TAM) обеспечивает управление измерителем параметров LCR, что позволяет пользователю легко создавать, сохранять тестовые настройки и проводить процедуру измерения емкости затвора тестируемого устройства через пользовательский интерфейс платформы flexProber.

        • Электронно-лучевые методы (EBC)

          EBC расширяет возможности платформы flexProber по локализации высокоомных дефектов в слоях металлизации тестируемого устройства с помощью методов электронно-лучевой адсорбции тока (EBAC) и электронно-лучевого наведения тока (EBIC). Методы EBAC и EBIC основаны на сканировании образца электронным лучом с повышенной энергией, что приводит к возникновению тока в металлических структурах на глубине нескольких слоев и позволяет локализовать высокоомные дефекты. Пакет EBC включает в себя ПО для создания и управления сигналом EBC, который затем может быть наложен на СЭМ-изображение образца с целью определения местоположения сбойного узла.

          •  Измерение сопротивления, вызванное воздействием электронного луча (EBIRCH)

            Запатентованный метод EBIRCH™ позволяет локализовать низкоомные участки в металлических и транзисторных структурах тестируемого устройства путем выявления изменений электрических свойств сбойного участка в процессе его сканирования высокоэнергетическим электронным лучом. Управление операциями EBIRCH осуществляется с помощью приложения EBIRCH в ПО Test and Measurement (TAM). Сигнал EBIRCH в цифровой форме накладывается на полученное одновременно с ним СЭМ-изображение для визуального наблюдения сбойного участка.

    Количество позиционеров зондов: 8
    Размеры образца (max): до 50 мм
    Разрешение колонны СЭМ: до 200 эВ
    Поле обзора колонны СЭМ (FOV): +/- 100 мкм

     

    • Оформление заказа
    • Доставка
    • Техподдержка
    Как оформить заказ на сайте
    • Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или отправьте запрос на получение счета на tt@sernia.ru  с темой «Запрос счета».
    • Если Вы ранее не работали с нашей компанией, в письме необходимо указать Ваши реквизиты.
    • Мы работаем как с юридическими, так и с физическими лицами.
    • Оплата осуществляется по безналичному расчету.
    • Для получения дополнительной информации необходимо связаться с менеджером по продажам Царевой Татьяной Андреевной, e-mail: tt@sernia.ru.

    Варианты доставки оборудования:

    Доставка SERNIA
    • Доставка транспортной компанией СПСР-экспресс до двери получателя. Стоимость доставки включается в счет;
    • Доставка любой другой транспортной компанией (до двери или до терминала ТК в вашем городе). Оплата доставки осуществляется при получении;
    • Самовывоз (Москва, Воробьевы Горы, Физический факультет МГУ,1, стр.2);
    • Доставка курьером по Москве и ближнему Подмосковью. Стоимость доставки включается в счет.

    Сомневаетесь в выборе прибора? Проконсультируйтесь с нашим специалистом по измерительному оборудованию!

    Т
    • На все вопросы Вам ответит инженер департамента измерительных комплексов Дмитрий Величко.
    • Свяжитесь с ним по тел. +7 (495) 204-13-17 или
    • Отправьте письмо на e-mail: info@sernia.ru с указанием темы «Тех.консультация».
    • В письме укажите Ваш контактный телефон. Инженер свяжется с Вами в течении 1 часа.