Размер образца: диаметр до 8,9 см Осциллирующее поле : 13,56 МГц Энергия ионов : менее 12 эВ Вакуумная система: давление 1 x 10-6 мбар Рабочие газы: 25% кислорода и 75% аргона
Эффективная очистка образцов, держателей, решеток и крупных структур перед применением средств электронной микроскопии и других исследовательских методов.
