Источники индуктивно связанной плазмы (ICP): размер пучка 14 или 20 см Плотность тока: до 4 мA/см2 Диапазон энергий: от 100 до 1000 эВ
Установки ионного травления двух типов: реактивное травление ионным лучом (RIBE), травление посредством ионного луча с химическим ассистированием (CAIBE)
