Выравнивание фотошаблона: 4-осевое перемещение Источник света: 365 нм, 20 Вт Разрешение выравнивания: менее 0,25 мкм Максимальный размер пластины: 100 мм
Литограф FLS6-22 Rafanco с функцией выравнивания фотошаблона - удобный и экономичный инструмент для мелкосерийного производства и лабораторий.
