Соединяя науку и технологии office@sernia.ru
пн-пт 10:00 – 19:00
сб-вс выходные
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы (ПХГФО)

Выбрать Категорию
Количество на странице:
20
Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы, ПХО или ПХГФО (Plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) - процесс химического осаждения тонких пленок из паровой фазы при низком давлении с использованием высокочастотной плазмы