Травление и осаждение тонких пленок с оборудованием PLASSYS
Компания "Серния Инжиниринг" стала официальным дистрибьютором компании Plassys. Французская компания PLASSYS (основана в 1987 году) – производитель высокотехнологичного оборудования, основное направление деятельности которой является разработка и производство оборудования для травления и осаждения тонких пленок, в том числе оборудования для нанесения алмазоподобных (DLC) трибологических (защитных) покрытий с помощью технологии PECVD.
Тесная связь PLASSYS с академическим миром гарантирует наилучшую конфигурацию оборудования, адаптированную к конкретным потребностям клиента. Высокий уровень установок PLASSYS по достоинству оценен учеными и инженерами и успешно используется уже в течение 30 лет во многих престижных исследовательских центрах по всему миру, используя опыт и ноу-хау, разработанные компанией PLASSYS в области вакуумных технологий и приложений.
Основные категории оборудования PLASSYS
- установки для травления и осаждения тонких пленок;
- установки для нанесения алмазоподобных (DLC) трибологических (защитных) покрытий с помощью технологии PECVD.
Основные виды оборудования PLASSYS
- Высоковакуумные/ультравысоковакуумные установка осаждения покрытий с использованием процесса испарения;
- Высоковакуумные/ультравысоковакуумные установки напыления;
- Установки нереактивного ионного травления, реактивного травления ионным лучом (RIBE), травления посредством ионного луча с химическим ассистированием (CAIBE);
- Установки для выращивания алмаза MW-PACVD (методом химического газофазного осаждения в среде микроволновой плазмы);
- Установки для решения специфических задач в области осаждения материалов (осаждение алмазоподобных углеродных пленок (DLC), промежуточные (интерфейсные) слои, формирование покрытий методами напыления и испарения на нескольких подложках одновременно);
- Кубитовые многокамерные установки;
- Интегрируемые перчаточные боксы.
Для всех технологических установок компании PLASSYS доступен управляющий интерфейс двух видов:
- Полуавтоматическое управление через двоичные логические реле или через автоматизированную логическую плату;
- Управление с ПК и лицензированного фирменного программного обеспечения под Windows 7.
Области применения оборудования PLASSYS
- термическое, электронно-лучевое и магнетронное напыление;
- выращивание алмазов CVD методом;
- осаждение с ионным ассистированием;
- ионное травление.
Технология PLASSYS для тонких пленок применяется в основном в полупроводниках, сверхпроводниках, сенсорах, для нанесения трибологических (защитных) и оптических слоев.
Линейка продуктов PLASSYS - это различные установки которые позволяют проводить деликатное осаждение слоёв без повреждений поверхности и обратную литографию, обработку поверхностей, напыление и окисление, а также травление с возможностью полной автоматизации процессов.
Читайте подробнее об оборудовании PLASSYS >>>
Вам необходимо оборудование для травления и осаждения тонких пленок? Выбираете подходящую систему вакуумного напыления или ионного травления? Обращайтесь в нашу компанию - наши специалисты подробно проконсультируют вас по вопросу выбора подходящего оборудования. Присылайте Ваши вопросы на эл.почту info@sernia.ru или просто позвоните по тел. +7 495 204-31-17!