По запросу
Компактная, недорогая универсальная установка для удаления фоторезиста, которая обрабатывает пластины размером 100-300 мм.
По запросу
Gemini — недорогая, универсальная система. Обрабатывает пластины размером 100-300 мм. Установка разработана специально для использования на производстве.
По запросу
Небольшая установка плазмохимического травления c вакуумным шлюзом промышленного назначения. Установка может использоваться для любых процессов плазмохимического травления с использованием фторных газов и кислорода.
По запросу
Oracle III — кластерная система плазмохимического травления и осаждения пленок, диэлектриков (RIE; RIE+ICP; PECVD) промышленного назначения
По запросу
Лабораторная установка плазмохимического травления. Поддерживает процессы: RIE; RIE+ICP.
По запросу
Titan Trion — производственная установка (PECVD; RIE+HDICP; RIE) для травления или осаждения диэлектриков
По запросу
НОВИНКА!!!
Minilock Duo Trion – компактная система плазмохимического травления или осаждения.
Имеет 2 реактора, каждый из которых можно использовать под следующие процессы травления или осаждения: PR Strip, RIE, PE, ICP, DRIE, PECVD, HDCVD.