Зондовые станции SemiProbe - современные решения для измерения ВАХ, ВФХ и импульсных ВАХ
Известный производитель с мировым именем – компания SemiProbe (Semiconductor Testing Solutions – Probe Systems) является разработчиком и производителем широкого ряда зондовых станций для полупроводниковой промышленности – ручных, полуавтоматических и автоматических с различным уровнем сложности архитектуры системы и измерительных возможностей.
Основные направления применения зондовых станций SemiProbe - определение параметров объектов, МЭМС, оптоэлектроника, ВЧ и СВЧ устройства, силовая электроника, солнечные батареи, анализ отказов, научные исследования, материаловедение и многое другое.
Отличительные особенности зондовых станций SemiProbe:
- адаптивная модульная архитектура с возможностью наращивания и усложнения системы по мере роста измерительных задач;
- простой апгрейд ручной станции до полуавтомата; полуавтомата – до автоматического управления;
- простая взаимозаменяемость блоков зондовой станции даже в «полевых» условиях;
- совместимость со множеством измерительных приборов различных производителей для создания полноценных измерительных комплексов.;
- невысокая стоимость оборудования.
- платформа с антивибрационной столешницей и вакуумным столиком для точного позиционирования зондов;
- комплект механизмов и креплений для перемещения по осям XYZ стола с образцами;
- оптический микроскоп (тринокулярный) с выводом картинки на монитор и светодиодной насадкой;
- измерительный прибор, подходящий под ваши задачи (например, для полноценного параметрического анализа мы предлагаем использовать параметрический анализатор Keithley 4200A-SCS).
На сегодня в линейке зондовых станций SemiProbe представлены следующие серии:
- Зондовые станции LAB ASSISTANT SEMIPROBE;
- Зондовые станции PS4L SEMIPROBE;
- Зондовые станции SPECIALTY SYSTEMS SEMIPROBE.
Зондовые станции LAB ASSISTANT SEMIPROBE
LAB ASSISTANT – бюджетная серия станций начального уровня с ручным управлением, предназначенная для измерения электрических параметров постоянного тока (модели DC) или тока высокой частоты (модели HF). Системы данной серии работают с пластинами диаметром 50, 100, 150, 200 мм.
Серия станет хорошим стартовым решением для небольших аналитических лабораторий, проводящих исследования в области микроэлектроники. Станции LAB ASSISTANT могут быть сконфигурированы для тестирования постоянного или ВЧ / СВЧ-диапазона, включая набор сложных аксессуаров, которые обычно можно найти только на более крупных и более дорогих зондовых станциях, а также могут быть дополнительно оснащены опциями: столиком с подогревом, оптикой и манипуляторами, которые предлагаются в более продвинутой линейке зондовых станций PS4L SEMIPROBE.
Режим управления/ Размер образца |
50 мм |
100 мм |
150 мм |
200 мм |
Измерение |
Ручная |
LA-50 DC | LA-100 DC | LA-150 DC | LA-200 DC | DC |
Ручная |
LA-50 HF | LA-100 HF | LA-150 HF | LA-200 HF | HF |
Зондовые станции PS4L SEMIPROBE
Станции серии PS4L проводят высокочастотные измерения на постоянном токе, предназначены для исследований различного уровня сложности в области дискретных компонентов, интегральных схем, МЭМС, оптоэлектроники, высокочастотных и микроволновых устройств, солнечных батарей, ВЧ и СВЧ устройств, силовой электроники, анализа отказов, научных исследований, материаловедения и др.
Семейство зондовых станций Probe System for Life (PS4L) для зондирования пластин разработано на основе адаптивной архитектуры, запатентованной компанией SemiProbe. В отличие от традиционных зондовых систем, все основные модули – основание, столики, держатели образцов, крепления микроскопа, подвижные части микроскопа, оптика, манипуляторы и прочие – являются взаимозаменяемыми, что делает PS4L прекрасным решением для любого бюджета и для различных задач.
Уникальная модульная конструкция дает возможности тестирования, которые точно отвечают вашим текущим требованиям. Что ещё более важно, при изменении задач или условий тестирования, PS4L может быть легко модернизирована в соответствии с новыми требованиями.
Зондовые станции PS4L выпускаются в основном для работы с пластинами от 100 до 300 мм и доступны в ручной (серия М), полуавтоматической (серия SA) и автоматической (серия FA) конфигурациях. Модели для пластин 50 мм и 450 мм выпускаются по индивидуальному запросу.
Режим управления/ Размер образца |
100 мм |
150 мм |
200 мм |
300 мм |
Ручная |
М-4 |
М-6 |
М-8 |
М-12 |
Полуавтомат |
SA-4 |
SA-6 |
SA-8 |
SA-12 |
Автомат |
FA-4 |
FA-6 |
FA-8 |
FA-12 |
Зондовые станции SPECIALTY SYSTEMS SEMIPROBE
Специализированные зондовые станции SPECIALTY SYSTEMS конструктивно созданы на платформе PS4L и имеют более узкую специализацию в зависимости от задачи исследования:
- Cтанция двустороннего зондирования (DSP) SPECIALTY SYSTEMS SEMIPROBE - серия ручных и полуавтоматических систем для зондирования матриц или полупроводниковых пластин. Возможна работа с пластинами размером 75/100/150/200 мм. Система предназначена для использования стандартных зондов постоянного тока (DC) на отдельных манипуляторах, зондовых платах, измерительных щупах и ВЧ/СВЧ зондах. Пользователь имеет возможность использовать их для контакта и с верхней, и с нижней поверхностью образца.
- Система магнитной стимуляции (MSS) SPECIALTY SYSTEMS SEMIPROBE - предназначена для использования стандартных зондов постоянного тока (DC) на отдельных манипуляторах, зондовых сборках, измерительных щупах и ВЧ/СВЧ зондах. Имеет контролируемое положение стимулирующего магнитного источника, а также ручной контроль положения тестируемого устройства, контактных зондов и микроскопа. Система разработана таким образом, чтобы обеспечить оптимальный контроль каждого аспекта тестирования. Основные области применения: память (FRAM, FeRAM, MRAM, квантовая электроника), микроэлектромеханические системы (МЭМС/MEMS), материаловедение.
- Вакуумная зондовая станция SA-4VP/6VP/8VP SPECIALTY SYSTEMS SEMIPROBE - полуавтоматическая зондовая станция для тестирования пластин или подложек диаметром 100/150/200 мм в условиях вакуума. Имеется возможность тестирования отдельных кристаллов, фрагментов и частей пластин. Создана специально для измерения температуры, постоянных токов, определение вольт-фарадных и вольтамперных характеристик, работы с высокочастотными и оптоэлектронными устройствами, исследований МЭМС в условиях вакуума с диапазоном температур от -65° С до 300° С.
ЗОНДОВАЯ СТАНЦИЯ SEMIPROBE – ИДЕАЛЬНОЕ РЕШЕНИЕ!
- Проверенное на практике высокое качество проводимых измерений по минимальной стоимости для комплексов аналогичного уровня и возможностей;
- Простой апгрейд станции под текущие задачи – внутренняя совместимость модулей производителя и уникальная совместимость с любым измерительным, аналитическим, технологическим оборудованием других производителей;
- Полноценный современный функционал на уровне сложных комплексов при сохранении компактности системы – идеальная эргономика;
- Подложки различных размеров и широкий модельный ряд станций под любую специализацию;
- Пред-инсталляционное обследование помещения, пуско-наладочные работы, обучение и пост-продажный сервис по зондовым станциям от специалистов ООО "Серния Инжиниринг".
Вас заинтересовали современные решения для быстрого и эффективного измерения ВАХ, ВФХ и импульсных ВАХ? - мы всегда рады проконсультировать! - пишите info@sernia.ru или позвоните нам: +7 495 204 13 17.
У Вас есть потребность протестировать образцы, но нет подходящего оборудования? - мы приглашаем Вас на демонстрацию измерительного комплекса в составе зондовой станции PS4L M6 SemiProbe и параметрического анализатора 4200А-SCS Keithley, где можно протестировать свои образцы и сразу же получить результаты исследования и консультацию нашего специалиста.