Модульные зондовые станции для работы с пластинами 100/150/200/300 мм
Основные сведения о зондовых станциях PS4L серии FA SEMIPROBE
Серия автоматических зондовых станций FA SemiProbe представлена четырьмя моделями - FA-4 / FA-6 / FA-8 / FA-12 для работы с пластинами следующих размеров соответственно: 100/150/200/300 мм. Серия модульных зондовых станций SemiProbe FA-4/6/8/12 разработаны на базе адаптивной архитектуры Probe System for Life (PS4L) и представляют из себя комплект технических средств на базе оптического микроскопа, предназначенный для точного позиционирования зондов на контактные площадки полупроводниковых приборов и создания электрических контактов в необходимых точках для контроля их электрических параметров. Работа с пластинами и подложками размером:
- модель FA-4 - 75 мм и 100 мм
- модель FA-6 - 100 мм и 150 мм
- модель FA-8 - 150 мм и 200 мм
- модель FA-12 - 200 мм и 300 мм
Основные области применения высокопроизводительных зондовых станций для тестирования разнообразных устройств серии FA– дискретные компоненты, интегральные схемы, МЭМС, оптоэлектроника, высокочастотные и микроволновые устройства, солнечные батареи и др.
Особенности зондовых станций PS4L серии FA SEMIPROBE
- Решение различных задач с помощью одной системы: схемы на постоянных токах, высокочастотные приборы, оптоэлектроника, микроэлектромеханика и др.;
- 3 режима - автоматический, полуавтоматический и ручной;
- Исследование кристаллов и пластин, размещенных в кассетах или в специальных держателях с двойным захватом;
- Работа с тонкими и искривленными пластинами - от 50 мкм до 70 мкм, кремний и соединения III-V групп;
- Поддержка нескольких кассет одновременно (обычно 2 кассеты);
- Настраиваемое ПО PILOT: автоматическое выравнивание пластин и кристаллов, определение и профилирование высоты Z, навигатор по образцу, различные интерфейсы и др.;
- Опции - держатели образцов с нагревом/ охлаждением, оптические системы, видеокамеры, считыватели штрих-кода, системы распознавания текста, манипуляторы, зондовые сборки и т.д.
Все автоматические системы SemiProbe работают под управлением программного обеспечения PILOT. PILOT – модульное, интуитивно понятное и простое в освоении ПО. В случае появления в составе станции новых функций и оборудования, ПО может быть легко дополнено соответствующими управляющими модулями без внесения изменений в ядро программы. Имеется возможность управления перемещением с помощью джойстика.
Интеграция с другими приборами
ПО на основе библиотек DLL позволяет пользователям быстро и легко устанавливать связь с зондовой станцией и контрольно-измерительными приборами. Для LabView, C ++ и Visual Basic доступны полные библиотеки драйверов, включающие в себя специализированные драйвера для поддержки самых современных инструментов, в том числе параметрического анализатора Keithley 4200A-SCS. Связь ПО и оборудования осуществляется по протоколам RS-232, GPIB или TCP / IP, что позволяет зондовой станции выступать в качестве основного или ведомого устройства в случае интеграции с другими системами.
Аксессуары
Для PS4L доступна полная линейка аксессуаров, в том числе держатели зондовых сборок, манипуляторы и их базы, зонды и держатели зондов, лазеры, оптические системы, видеокамеры, устройства подачи образцов (механизмы автоматической загрузки), антивибрационные столы, светонепроницаемые боксы и многое другое.
Преимущества зондовых станций PS4L серии FA SEMIPROBE
- Полностью автоматическая система для исследования 100/150/200/300 мм пластин, возможность апгрейда для работы с бОльшими по размеру пластинами;
- Все основные компоненты системы - сменные. Это дает возможность упрощенного конфигурирования системы и позволяет избежать трудностей при появлении новых задач или изменении бюджета;
- Программные и аппаратные модули разработаны таким образом, чтобы их всегда можно было модернизировать непосредственно на месте размещения системы.
Технические характеристики зондовых станций PS4L серии FA SEMIPROBE
|
Размеры |
Модели FA-4/6: 900 мм x 1625 мм x 2438 мм; модель FA-8: 900 мм x 1981 мм x 2438 мм; модель FA-12: 1200 мм x 1981 мм x 2438 мм (Ш,В,Д) – с оптикой, устройством загрузки образцов и подставкой для монитора/клавиатуры |
|
Вес |
Модели FA-4/6/8 - 240 кг; модель FA-12 - 318 кг |
|
Перемещение столика по осям X-Y |
Ход: FA-4 - 105 мм x 105 мм; FA-6 - 155 мм x 155 мм; FA-8 - 205 мм x 205 мм; FA-12 - 305 мм x 305 мм |
|
|
Скорость: 50 мм/сек |
|
|
Разрешение: 0.1 мкм |
|
|
Повторяемость: +/- 0.5 мкм |
|
|
Точность: +/- 3 мкм |
|
|
Планарность: +/- 8 мкм за один полный ход |
|
|
Шаговый двигатель Nema 17 |
|
|
Оптический линейный преобразователь |
|
Перемещение столика по оси Z |
Ход по Z: 15 мм |
|
|
Разрешение: 0.5 мкм |
|
|
Повторяемость: +/-1.5 мкм |
|
Наклон столика |
Ход: +/-4 градусов (задается пользователем) |
|
|
Разрешение: 0.29 угловой секунды, (0.00001 градуса) |
|
Держатель образцов |
Вакуумная или механическая фиксация образца, круглый или квадратный, ВЧ, для больших напряжений/токов, для стандартных температур, с нагревом/охлаждением и с настраиваемыми зажимами |
|
|
Для кристаллов и сборок, частей пластин на рамках, расколотых и полных пластин до 150 мм для моделей FA-4/6; 200 мм для моделей FA-8/12 |
|
|
Сталь с никелевым покрытием и концентрическими вакуумными кольцами (стандартно), доступны другие материалы покрытия |
|
|
Планарность: +/- 8 мкм |
|
Основание для размещения зондов |
Алюминиевое, верхняя часть из нержавеющей стали |
|
|
Возможность поворота манипуляторов на 360 градусов |
|
|
Фиксация манипуляторов – магнитная, вакуумная |
|
Перемещение основания для зондов |
Подъем основания: фиксированный или настраиваемый |
|
|
Настройка подъема: грубая 40 мм, плавная 200 мкм |
|
Крепление/перемещение микроскопа |
Крепление – штанговое, штыревое или мостовое |
|
|
Перемещение – ручное или программируемое – 50 x 50 мм, 50 x 75 мм, 100 x 100 мм |
|
Оптика |
Микроскопы систем Stereo Zoom, Zoom Tube, A-Zoom или совместимые |
|
Инженерное обеспечение |
Питание: ~110/220В ~50-60 Гц 20A |
|
|
Вакуум: 23 дюйм. рт. ст. или -0.8 бар |
| Диаметр позиционируемого образца (мм): | от 75 мм до 300 мм |
| Тип механизма: | автомат/полуавтомат/ручной |
| Размеры станции (мм): | 900/1200*1625/1981*2438 |
| Вес (кг): | 240-318 |
Заказ товаров
Сделать заказ товара можно несколькими способами:
- Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
- Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.
Оплата товара
Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).
Доставка товара
Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.
Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.
