Вакуумные кластерные инструменты PICOPLATFORM™ компании Picosun сочетают в себе уникальную масштабируемость и модульность всех инструментов АСО PICOSUN™. Кластерная система оборудована полностью стандартизированными решениями по автоматизации для промышленных производств.
Размеры и тип пластин : мелкие и крупные 3D-объекты Температура обработки: 50 – 400°C Технологические процессы: Al2O3, ZnO, TiO2 Прекурсоры: жидкостные, твердые вещества, газ, озон; до 10 источников с 6 отдельными вводами
Установка ALD P-1000 Picosun предназначена для одиночной или пакетной обработки различных 3D объектов. Система проста в эксплуатации, так как имеет ручной механизм загрузки подложек в камеру.
Разработана специально для нанесения тонких пленок в промышленных масштабах на трехмерные образцы:
изделия оптики,
чеканные изделия (например, монеты)
ювелирные изделия,
изделия медицинского назначения (например медицинские импланты).
Размеры и тип пластин: пластины 200/150/100 мм в кассетах по 25/50/75 шт.; подложки, отличные от пластин; образцы с большим аспектным отношением. Температура обработки: 50 – 500°C Технологические процессы: Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2, AlN, TiN и металлы Прекурсоры: жидкостные, твердые вещества, газ, озон;; до 8 источников с 4 отдельными вводами.
P-300B Picosun — установка атомно-слоевого осаждения для производства MEMS-устройств, таких как печатающие головки, датчики и микрофоны, и для нанесения покрытий на различные 3D-объекты, такие как детали механического оборудования, стеклянные или металлические листы, монеты, детали часов и ювелирные изделия, линзы, оптика, медицинские приборы, импланты.
Размер и тип подложки: Пластины 200/150/100 мм в кассетах по 25/50/75 шт.; Подложки, отличные от пластин; Образцы с большим аспектным отношением. Температура обработки: 50 – 450°C Технологические процессы: Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2, AlN, TiN и металлы Загрузка подложки: Полуавтоматическая загрузка с помощью вертикальных загрузчиков (один или два) Дополнительный обогрев загрузочного шлюза Прекурсоры: Жидкостные, твердые вещества, газ, озон; До 8 источников с 4 отдельными вводами
Установка ALD P-300BV Picosun - разработка для производства светодиодов, дискретных устройств и различных устройств MEMS, например печатающих головок, датчиков и микрофонов.
В установке PICOFLOAT™ порошок, на который требуется нанести покрытие, находится в постоянном движении, что гарантирует образование однородных АСО плёнок на каждой частице с диаметром несколько десятков нанометров.
НОВИНКА!!!
Микроскоп VR-3000 Keyence поддерживает большой спектр измерений и может быть использован как оптический профилометр и измеритель шероховатости.
