пн-пт  10:00 - 19:00
г. Москва
+7 (495) 204 13 17
г. Санкт-Петербург
+7 (812) 509 20 91

Установка ALD Morpher Picosun для производства полупроводников

Производитель:
Picosun Flag
Задать вопрос
Цена с НДС:
По запросу
Доставка по всей России бесплатно
Подробнее о доставке здесь
  • Детальное описание
  • Тех.характеристики
  • Оплата и доставка


ALD-установка Morpher PICOSUN для работы с пластинами до 200 мм 

ALD-установка PICOSUN ™ Morpher разработана для производства полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм.  Она предназначена для автоматического, высокопроизводительного производства MEMS, датчиков, светодиодов, лазеров, силовой электроники, оптики и компонентов 5G с одновременным высочайшим качеством, надежностью и оперативностью технологических процессов. 

Установка АСО Morpher приспосабливается к меняющимся потребностям отрасли и требованиям клиентов по всем направлениям полупроводниковой отрасли: от научно-исследовательских лабораторий до производства и производственной фабрики. 

Универсальность использования материалов подложки, их размеров и партий, а также широкий диапазон процессов делают ALD установку Morpher Picosun незаменимой для производств, которые стремятся занимать главенствующее положение в отрасли. 

Технические особенности ALD-установки Morpher PICOSUN

Типичные размеры и виды подложек

  • 200 мм подложки в партии до 50 штук;
  • 150 мм подложки в партии до 50 штук;
  • 100 мм подложки в партии до 50 штук;
  • Образцы с высоким аспектным соотношением топологии (до 1:2500);
  • Виды подложек: Si, стекло, кварц, SiC, GaN, GaAs, LiNbO3, LiTaO3, InP.
Температуры процесса и пропускная способность
  • 50 – 300°C;
  • До 1000 подложек / 24 часа при нанесении 15 нм Al2O3.
Типичные процессы
  • Возможность групповой обработки с временем цикла до единиц секунд;
  • Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2, и металлы;
  • Неравномерность в партии ниже 1% 1σ (процесс Al2O3 WIW, WTW, B2B, 49 точек, 5мм EE.
Загрузка подложек
  • Полностью автоматическая, с помощью вакуумного кассетного загрузчика с возможностью вертикального переворота;
  • Групповая загрузка по системе от кассеты к кассете с помощью модуля Picoplatform™ 200;
  • Опциональный SMIF-загрузчик.
Ключевые особенности программного обеспечения
  • Независимый редактор рецептов, позволяющий создавать и модифицировать рецепты во время процессов, с динамической структурой (масштабируемый формат для каждого рецепта);
  • Унифицированный интерфейс для управления всем кластером с одним протоколом связи (Ethercat);
  • Фиксированная длительность цикла с частотой регистрации данных 1/20 миллисекунды, способна к многозадачности
  • Возможность удаленной регистрации данных, все данные полностью экспортируемы;
  • Интеграция SECS / GEM с фабрикой.
Прекурсоры
  • Жидкие, твердые, газообразные, озон;
  • Датчики уровня, сервис по очистке и заправке;
  • До 12 источников с 6-ю раздельными входами.

Интеграция с производственной линией  ALD-установки Morpher PICOSUN

PICOSUN ™ Morpher разработан для полностью автоматизированной обработки партий подложек в сочетании с промышленными стандартными вакуумными кластерными платформами для одиночных пластин. Революционный запатентованный механизм переворачивания партий пластин позволяет интегрировать систему в полупроводниковую производственную линию, где большая часть процессов происходит в горизонтальной плоскости, а сертификация SEMI S2 / S8 гарантирует, что система совместима с самыми строгими стандартами отрасли. 

Система АСО PICOSUN ™ Morpher может быть интегрирована в производственную линию посредством протокола SECS / GEM, а современное программное обеспечение предоставляет простую, безопасную и надежную работу системы благодаря интуитивно понятному и оптимизированному графическому интерфейсу. 

В АСО PICOSUN ™ Morpher использована запатентованная двухкамерная конструкция реактора с горячими стенками, полностью разделенными трубопроводами и впускными отверстиями для прекурсоров.

Оборудование PICOSUN ™ позволяет создавать пленки АСО высочайшего качества с низким уровнем частиц и превосходными электрическими и оптическими характеристиками. Компактный, эргономичный дизайн с простым и быстрым обслуживанием обеспечивает минимальное время простоя системы и минимальную стоимость владения на рынке.

Узнать больше о возможностях АСО PICOSUN ™ Morpher >>>

Диаметр пластины: до 200 мм
Материал подложек: Si, стекло, кварц, SiC, GaN, GaAs, LiNbO3, LiTaO3, InP
Температура обработки: 50 – 300°C
Прекурсоры: Жидкие, твердые, газообразные, озон