ALD-установка Morpher PICOSUN для работы с пластинами до 200 мм
ALD-установка PICOSUN ™ Morpher разработана для производства полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм. Она предназначена для автоматического, высокопроизводительного производства MEMS, датчиков, светодиодов, лазеров, силовой электроники, оптики и компонентов 5G с одновременным высочайшим качеством, надежностью и оперативностью технологических процессов.
Установка АСО Morpher приспосабливается к меняющимся потребностям отрасли и требованиям клиентов по всем направлениям полупроводниковой отрасли: от научно-исследовательских лабораторий до производства и производственной фабрики.
Универсальность использования материалов подложки, их размеров и партий, а также широкий диапазон процессов делают ALD установку Morpher Picosun незаменимой для производств, которые стремятся занимать главенствующее положение в отрасли.
Технические особенности ALD-установки Morpher PICOSUN
Типичные размеры и виды подложек
- 200 мм подложки в партии до 50 штук;
- 150 мм подложки в партии до 50 штук;
- 100 мм подложки в партии до 50 штук;
- Образцы с высоким аспектным соотношением топологии (до 1:2500);
- Виды подложек: Si, стекло, кварц, SiC, GaN, GaAs, LiNbO3, LiTaO3, InP.
- 50 – 300°C;
- До 1000 подложек / 24 часа при нанесении 15 нм Al2O3.
- Возможность групповой обработки с временем цикла до единиц секунд;
- Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2, и металлы;
- Неравномерность в партии ниже 1% 1σ (процесс Al2O3 WIW, WTW, B2B, 49 точек, 5мм EE.
- Полностью автоматическая, с помощью вакуумного кассетного загрузчика с возможностью вертикального переворота;
- Групповая загрузка по системе от кассеты к кассете с помощью модуля Picoplatform™ 200;
- Опциональный SMIF-загрузчик.
- Независимый редактор рецептов, позволяющий создавать и модифицировать рецепты во время процессов, с динамической структурой (масштабируемый формат для каждого рецепта);
- Унифицированный интерфейс для управления всем кластером с одним протоколом связи (Ethercat);
- Фиксированная длительность цикла с частотой регистрации данных 1/20 миллисекунды, способна к многозадачности
- Возможность удаленной регистрации данных, все данные полностью экспортируемы;
- Интеграция SECS / GEM с фабрикой.
- Жидкие, твердые, газообразные, озон;
- Датчики уровня, сервис по очистке и заправке;
- До 12 источников с 6-ю раздельными входами.
Интеграция с производственной линией ALD-установки Morpher PICOSUN
PICOSUN ™ Morpher разработан для полностью автоматизированной обработки партий подложек в сочетании с промышленными стандартными вакуумными кластерными платформами для одиночных пластин. Революционный запатентованный механизм переворачивания партий пластин позволяет интегрировать систему в полупроводниковую производственную линию, где большая часть процессов происходит в горизонтальной плоскости, а сертификация SEMI S2 / S8 гарантирует, что система совместима с самыми строгими стандартами отрасли.
Система АСО PICOSUN ™ Morpher может быть интегрирована в производственную линию посредством протокола SECS / GEM, а современное программное обеспечение предоставляет простую, безопасную и надежную работу системы благодаря интуитивно понятному и оптимизированному графическому интерфейсу.
В АСО PICOSUN ™ Morpher использована запатентованная двухкамерная конструкция реактора с горячими стенками, полностью разделенными трубопроводами и впускными отверстиями для прекурсоров.
Оборудование PICOSUN ™ позволяет создавать пленки АСО высочайшего качества с низким уровнем частиц и превосходными электрическими и оптическими характеристиками. Компактный, эргономичный дизайн с простым и быстрым обслуживанием обеспечивает минимальное время простоя системы и минимальную стоимость владения на рынке.
Узнать больше о возможностях АСО PICOSUN ™ Morpher >>>
Диаметр пластины: | до 200 мм |
Материал подложек: | Si, стекло, кварц, SiC, GaN, GaAs, LiNbO3, LiTaO3, InP |
Температура обработки: | 50 – 300°C |
Прекурсоры: | Жидкие, твердые, газообразные, озон |
- Отправьте запрос на сайте через форму обратной связи «ЗАКАЗАТЬ». Укажите необходимое количество товара и нужный способ доставки, любые другие детали запроса
- Отправьте запрос на e-mail am@sernia.ru с темой «Запрос на оборудование», указав необходимое количество товара, сроки и способ доставки, любые другие детали запроса.
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный звонок для регионов), доб. 203, контактное лицо - Масюк Алексей Владимирович.