пн-пт  10:00 - 19:00

Генератор плазмы Picoplasma для ALD установок Picosun

Инновационный генератор плазмы Picosun PICOPLASMA™ для проведения процессов плазменно-стимулированного АСО (ПАСО).
Все характеристики
Производитель: Picosun Flag
Цена по запросу
Отправить запрос на КП
Задать вопрос
Доставка
Бесплатная доставка по Москве
Подробнее
Инновационный генератор плазмы Picosun PICOPLASMA™ для проведения процессов плазменно-стимулированного АСО (ПАСО).
Описание
Характеристики
Документы
Оплата и доставка
Описание

Генератор плазмы Picosun PICOPLASMA™

Инновационный генератор плазмы Picosun PICOPLASMA™ для проведения процессов плазменно-стимулированного АСО (ПАСО) основан на безионном удаленном источнике плазмы. Действенность и отличная результативность его работы подтверждены ключевыми клиентами компании во всем мире. Для расширения процессной химии с помощью генератора возможно получать возбужденные частицы кислорода, азота и радикалов водорода. Из-за низкой концентрации ионов, удаленный источник плазмы позволяет обрабатывать даже самые чувствительные образцы без их разрушения ионами плазмы, но при этом сохраняется плотный поток радикалов.
Источник плазмы PICOPLASMA™ может быть смонтирован на существующее оборудование PICOSUN™, а также клиенты могут приобрести целиком оборудование для ПАСО. Данное оборудование занимает небольшую площадь, обладает легкостью в обслуживании и имеет низкие эксплуатационные издержки. Система также может быть полностью автоматизирована путем включения ее в кластерное оборудование PICOPLATFORM™.

Особенности генератора плазмы Picosun PICOPLASMA™

  • Генератор плазмы и блок питания объединены в один компактный корпус.
  • Подключается к камере перемещения, которая вертикально соединена с реакционной камерой.
  • Коммерчески доступный РЧ генератор плазмы имеет мощность в диапазоне 100 – 3000 Вт, частоты 1.7 – 3 МГц.
  • Среднее время между отказами > 100 000 часов.
  • Защитный поток газа в промежуточное простанство (нет обратной диффузии частиц плазмы).
  • Возбуждение плазмы без вариации давления (не образуются примесные частицы).
  • Идеально подходит для осаждения металлов и нитридов металлов (отсутствует шунтирование).
  • Возможность проведения ПАСО и АСО в одном процессе без изменений в конструкции оборудовании.
picoplasma доп веб.jpg
Характеристики
Документы
Оплата и доставка

Заказ товаров

Сделать заказ товара можно несколькими способами:

  • Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
  • Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
  • Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.

Оплата товара

Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).

Доставка товара

Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.

Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.