P-300B Picosun — установка атомно-слоевого осаждения для производства MEMS-устройств, таких как печатающие головки, датчики и микрофоны, и для нанесения покрытий на различные 3D-объекты, такие как детали механического оборудования, стеклянные или металлические листы, монеты, детали часов и ювелирные изделия, линзы, оптика, медицинские приборы, импланты.
Установки атомно-слоевого осаждения Picosun
Установка P-300B Picosun - это установка атомно-слоевого осаждения для применения в промышленности. ALD, atomic layer deposition (атомно-слоевое осаждение, АСО) — это химический метод нанесения сверхтонких плёнок из газовой фазы. Рост плёнок осуществляется за счет последовательного нанесения атомных слоев, обеспечивая точный контроль толщины плёнки и ее химический состав.
Установка ALD PICOSUN P-300B для производства MEMS-устройств
Система PICOSUN P-300B ALD специально разработана для производства MEMS-устройств, таких как печатающие головки, датчики и микрофоны, и для нанесения покрытий на различные 3D-объекты, такие как детали механического оборудования, стеклянные или металлические листы, монеты, детали часов и ювелирные изделия, линзы, оптика, медицинские приборы и имплантируемые устройства (решения PicoMEDICAL ™). Установка высокопроизводительная, высоконадежная и чрезвычайно простая в обслуживании.
Технические особенности установки ALD P-300B PICOSUN
Типичный размер и тип подложки
- 200 мм пластины в партиях до 25 шт;
- 150 мм пластины в партиях до 50 шт;
- 100 мм пластины в партиях до 75 шт;
- Может работать со всеми видами трехмерных предметов, таких как детали механического оборудования, монеты, детали часов и ювелирные изделия, линзы, оптика и медицинское оборудование, хирургические импланты и имплантируемые устройства;
- Образцы с высоким аспектным соотношением сторон (до 1:2500).
Температура
- 50 – 500 °C
Стандартные процессы
- Серийное производство доступно с периодом цикла до однозначных секунд;
- Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2, AlN, TiN, и металлы;
- До <1% 1σ неравномерность в партии (Al2O3, WIW, WTW, B2B, 49 точек, 5мм EE).
Загрузка субстрата
- Ручная загрузка с помощью пневматического подъемника;
-
Линейная полуавтоматическая загрузка;
Загрузка с помощью промышленного робота.
Прекурсоры
- Жидкие, твёрдые, газообразные, озоновые;
- Датчики уровня, очистка и пополнение;
- До 8 источников с 4 отдельными входами.
Преимущества системы PICOSUN P-300B ALD
Установки ALD PICOSUN™ P-300 стали новым стандартом в промышленном производстве с использованием технологии атомно-слоевого осаждения. Запатентованная компанией Picosun конструкции камеры с горячими стенками и разделёнными впускными отверстиями гарантирует создание высококачественных АСО пленок с низким уровнем частиц и превосходными электрическими и оптическими характеристиками. Гибкая конфигурация установок с простым и быстрым обслуживанием обеспечивает минимальный простой систем, обеспечивая высокую производительность и низкие производственные затраты. Запатентованная технология диффузионного усилителя Picoflow™ позволяет получать однородные покрытия на подложках со сверхточным соотношением сторон.
Отзывы клиентов о системы PICOSUN P-300B ALD
«Наша система PICOSUN™ ALD уже несколько лет обеспечивает стабильную и надежную обработку покрытия поверхности импланта, создавая конкурентное преимущество для наших продуктов на рынке медицинских имплантов. Мы рекомендуем технологию PICOSUN™ ALD для всех отраслей промышленности, где модификация поверхность на микроуровне играет ключевую роль в разработке продукта».
Евгений Козлов, исполнительный директор ООО «КОНМЕТ»
| Размеры и тип пластин: | пластины 200/150/100 мм в кассетах по 25/50/75 шт.; подложки, отличные от пластин; образцы с большим аспектным отношением. |
| Температура обработки: | 50 – 500°C |
| Технологические процессы: | Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2, AlN, TiN и металлы |
| Прекурсоры: | жидкостные, твердые вещества, газ, озон;; до 8 источников с 4 отдельными вводами. |
Заказ товаров
Сделать заказ товара можно несколькими способами:
- Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
- Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.
Оплата товара
Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).
Доставка товара
Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.
Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.
