Зачем нужны активные системы подавления вибраций

Только инерционные системы могут активно подавлять вибрации или движения, возникающие на изолированном оборудовании, и вибрации пола или каркаса изоляторов. TMC разрабатывает и производит активные системы, как параллельного, так и последовательного типа.

В параллельном типе активного подавления, схема управления датчик-привод параллельна пружине. Пружина ослабляет вибрации пола, в то время, как система активного управления, соединена с нагрузкой, для подавления вибрации оборудования, возникающей, например, из-за движения столика. TMC использует такое решение в технологииElectro-Damp^®.

В последовательном типе, датчик-привод установлен последовательно, после пружины. Эта уникальная архитектура TMC используется в технологии Stacis^®, а теперь и в новой Everstill. Только последовательный тип может эффективно подавить низкочастотные вибрации (ниже 10 Гц).

Эти уникальные технологии работают на частоте от 0.6 Гц, до 150 Гц, и подавляют 50% вибраций на 1 Гц и от 90% начиная с 2 Гц. Это достижимо, благодаря двум особенностям.

Во-первых, активная схема управления не соединена с нагрузкой. Это расширяет полосу частот, независимо от резонанса нагрузки, те есть нет необходимости настройки, как в случае с параллельным типом.

Во-вторых, вибродатчик с чувствительностью ниже 1 Гц, в сочетании с приводами высокой мощности, для подавления вибраций на низких частотах, не имеет аналогов в отрасли.

ВОПРОС: В какой области применяется активная система подавления вибрации и почему это необходимо?

ОТВЕТ: Подавление вибрации может понадобиться исследователю, инженеру проектировщику, руководителю производства из-за условий, в которых они работают, или чувствительности оборудования, или всё вместе.

Как правило, оборудования для точного измерения или получения изображения чувствительны к вибрациям, и зачастую имеют пассивные воздушные изоляторы или пружины. Таким образом, большинство оборудования достигает высокой точности на первом этаже лаборатории, или в тихом здании, или в исследовательской лаборатории.

Но когда прибор установлен на заводе, изготавливающем полупроводники, исследовательском медицинском центре (особенно на верхних этажах), или материаловедческом центре, высокая производительность и разрешение не достижимы из-за низкочастотных вибраций окружающей среды или случайных помех.

В основном, активная инерционная система подавления технологии Everstill или Stacis применяется для получения изображения высокого разрешения и чувствительных операций.

Наши клиенты работают со сканирующими зондовыми микроскопами (включая атомно силовые микроскопы), сканирующими и просвечивающими электронными микроскопами, другим лучевым оборудованием, оборудованием для совмещения фотошаблонов, измерения параметров полупроводниковых пластин, а также анализом отказа в области фотоники, полупроводниковой электроники, материаловедения, биологии, нанотехнологии и разработке новых лекарств.

ВОПРОС: TMC предлагает Everstill™ K-400. Какие преимущества дает эта система?

ОТВЕТ: Everstill это новая технология разработанная TMC. TMC лидер в области погашения вибраций, и Everstill это новое поколение в инерционном подавлении вибрации. Запатентованная технология активно давит вибрации с частотой от 0.7 Гц, при этом выполнен в компактном корпусе, последовательного типа.

K-400– это первая настольная система, с использованием технологии Everstill. Лучшая в своем классе система подавления вибрации на частотах 1-10 Гц дает существенное преимущество для исследователей и разработчиков, работающих с оборудованием высокой точности.

K-400очень проста в установке и использовании. Достаточно подключить питание и включить, нажатием одной кнопки. Он распознает смещение нагрузки от центра, подстраивает уровень, и автоматически включает датчики-приводы для активного подавления вибрации, и все за считанные секунды.

ВОПРОС: Можете те ли вы рассказать нашим читателям о том, как работают датчики вибрации сейсмического типа в Everstill™ K-400?

ОТВЕТ: TMC работает с датчиками вибрации в сфере активного виброподавления с 1990 г. Преимущества от использования сейсмических датчиков – чувствительность ниже 1 Гц. Эти датчики необходимы для достижения такого активного подавления, как в Everstill.

Сигнал с датчика усиливается и проходит через сложный алгоритм на привод, для подавления вибрации пола или стола, которые начинаются приблизительно с 0.7 Гц.

ОТВЕТ: Не забывайте, что Everstill использует последовательный тип подключения, как в нашей технологии Stacis, которая в свою очередь очень востребована для использования с чувствительными электронно- и ионно-лучевыми приборами на полупроводниковых заводах и исследовательских центрах по всему миру. В K-400 используется похожее решение, но для гораздо меньшего по размерам, но требовательного оборудования.

Конкурентные преимущества становятся очевидны по двум причинам: подавление вибрации на низких частотах и стабильность. Последовательный тип активной системы дает лучшее подавлении вибрации, так как резонанс нагрузки отделен от датчиков. Это позволяет усиливать подавления, без потери стабильности.

Официальный дистрибьютор TMC в России - компания Серния. Специалисты компании проконсультируют Вас относительно применения оборудования, помогут определиться с выбором необходимой модели, доставят и инсталлируют систему.
Вы также можете  заказать в компании Серния услуги по измерению уровня вибраций и электромагнитных помех.