пн-пт  10:00 - 19:00
г. Москва
+7 (495) 204 13 17
г. Санкт-Петербург
+7 (812) 509 20 91
Москва
Санкт-Петербург
По всей России
Москва
Санкт-Петербург
По всей России

Trion Minilock ALD - новая установка АСО

предыдущий следующий
23 Августа 2021
photo

Trion Technology (США) – производитель плазмохимического оборудования для травления и осаждения тонких пленок с 1989 года. Отличительная особенность Trion – особое внимание к новым разработкам на фоне обязательной полной проверки оборудования в реальных условиях производства и обеспечение конечного решения проблемы пользователя.

Новинка 2021 -  установка для осаждения тонких пленок Minilock ALD Trion

Компания Trion Technology выпустила новую установку АСО - Minilock ALD. Данная модель разработана специально для выращивания пленок методом атомно-слоевого осаждения в тепловом и плазменном режимах. Архитектура и состав установки позволяет легко масштабировать систему до промышленных масштабов производства. Система стандартно сконфигурирована для пластин до 200 мм, также доступен вариант до 300 мм. Предусмотрены различные опции и возможности расширения исследовательского функционала (например, дополнительный источник микроволновой плазмы).

Ключевые характеристики

  • Источник индуктивно связанной плазмы (ICP, PEALD)
  • Вакуумный загрузочный шлюз и турбонасос
  • 4 точки входа прекурсоров
  • Программируемый логический контроллер (ПЛК) и управление с помощью сенсорного экрана
  • Соответствие стандартам SEMI S2 и CE 

Особенности Minilock ALDPlasma module.jpg

  • Плазменный модуль - главная особенность новой установки Minilock ALD. Разработчики добились улучшения технических характеристик оборудования, усовершенствовав систему – в состав установки интегрирован плазменный модуль. Благодаря такому нововведению, стало доступно больше материалов для новых изысканий и развития технологической базы (смотреть подробнее >>>)
  • Газовый шкаф сконструирован таким образом, что возможно выращивать более толстые пленки с помощью HDCVD или PECVD путем добавления TEOS, DES или силана.
  • Другие улучшения: сенсорный экран управления, усовершенствованный реактор, возможность установки до 8 сосудов с прекурсорами, роботизированная загрузка через вакуумный шлюз и многое другое.

Подробнее об установке АСО Minilock ALD TRION >>>

Если Вас заинтересовала установка АСО TRION Minilock ALD, обращайтесь в нашу компанию. Наши специалисты проконсультируют Вас и сориентируют по ценам на продукцию. Присылайте свои вопросы на электронную почту: info@sernia.ru или позвоните +7 (495) 204-13-17.

*Инженерный персонал компании Серния Инжиниринг может оказать поддержку в подготовке системы подачи технологических газов.