пн-пт  10:00 - 19:00
г. Москва
+7 (495) 204 13 17
г. Санкт-Петербург
+7 (812) 509 20 91
Москва
Санкт-Петербург
По всей России
Москва
Санкт-Петербург
По всей России

MEB700SL - новая высоковакуумная установка напыления от Plassys

предыдущий следующий
23 Августа 2021
photo

Plassys (Франция) – производитель  оборудования для травления и осаждения тонких пленок с более чем 30-летним стажем, разработала новую установку - MEB700SL. Установка  предназначена для нанесения тонких пленок методом магнетронного распыления. Данная технология разработана для применения в плазмонике.

Plassys MEB700SL -   высоковакуумная установка напыления тонких пленок

Совсем недавно компания Plassys представила высоковакуумную установку напыления MEB700SL. Специально разработанное для применения в плазмонике, оборудование обеспечивает термическое напыление пленок драгоценных металлов и диэлектриков с помощью электронного пучка.

Источник ионов типа End-hall включен для предварительной очистки или для ионной поддержки во время роста оксидов. Как и многие другие системы Plassys, 2-угловой манипулятор подложки позволяет использовать теневое испарение для нанесения более или менее сложных структур. 

Пользователи оборудования отметили превосходную производительностью установки, особенно с точки зрения однородности тонких пленок при изготовлении высококачественных устройств.

Что нового в MEB700SL?


Для создани установки MEB700SL cистема распыления MP450S была соединена с кластерным инструментом и вмещает комбинацию из 2-х четко сконфигурированных геометрических форм: шесть 2-дюймовых магнетронных катодов в конфокальной плоскости и в плоскости распыления для осаждения сложных стехиометрических соединений и один 2-х дюймовый магнетронный катод внеосевой плоскости для осаждения комплексного соединения из одной мишени.

Эта последняя конфигурация позволяет поддерживать стехиометрию при одновременном ограничении повреждений, вызванных высокоэнергетическими частицами, при регулировке некоторых геометрических и технологических параметров.

Plassys расширяет производство установок для нанесения тонких пленок

Востребованность оборудования побудила руководство компании расширить производство. Начавшееся в конце 2020 года строительство пристройки здания идет быстрыми темпами. Эти новые помещения предназначены для сборки оборудования для нанесения тонких пленок, чтобы удовлетворить растущие потребности клиентов. Вся команда Plassys с нетерпением ожидает окончания работы, чтобы в полной мере воспользоваться этой новой рабочей средой.

Новое здание Plassys.jpg

Новое производственное здание Plassys

Перспективные направления Plassys - сверхпроводящие кубиты

Хотя каждый год лаборатории, работающие над инструментами для осаждения Plassys, всегда демонстрируют наилучшие характеристики сверхпроводящих кубитов, компания продолжает развиваться. Plassys предоставляет новые решения и функции для самых требовательных клиентов и продолжает свою проектную работу, чтобы заранее разработать инструменты по последнему слову техники. Подбор лучшего оборудования для каждого конечного пользователя может стать девизом компании, которая ожидает, что новые барьеры в квантовых технологиях будут преодолены в соответствии с этими постоянными усилиями.


Если Вас заинтересовала установка MEB700SL Plassys, обращайтесь в нашу компанию. Наши специалисты проконсультируют Вас и сориентируют по ценам на продукцию. Присылайте свои вопросы на электронную почту: info@sernia.ru или позвоните +7 (495) 204-13-17.

*Инженерный персонал компании Серния Инжиниринг оказывает полное техническое сопровождение по оборудованию Plassys.