Соединяя науку и технологии office@sernia.ru
пн-пт 10:00 – 19:00
сб-вс выходные
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

flexProber – новое оборудование для локализации дефектов в кристалле

предыдущий следующий
05 Октября 2018

flexProber – нанозондовая установка на базе СЭМ для локализации дефектов в кристалле

На международном симпозиуме по тестированию и анализу отказов ISTFA -2017 (International Symposium for Testing and Failure Analysis) крупнейший мировой производитель - компания Thermo Fisher Scientific представила новую разработку – нанозондовую установку на базе СЭМ flexProber.
flexProber предназначена для того, чтобы помочь инженерам быстро локализовать и идентифицировать электрические неисправности в узлах, используя сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) для позиционирования нанозондов на открытых элементах схемы. 
Применение flexProber гарантирует быстрое и точное обнаружение неисправности, что повышает производительность и экономическую эффективность разработки процессов изготовления полупроводников приборов, отладки проектов и анализа отказов.

Что нового в установке?

flexProber имеет в своем составе новую колонну высокого разрешения LEEN с 2х-кратным улучшением разрешения по сравнению со своим предшественником, нанозондовой установкой nProber II. Колонна СЭМ LEEN в составе данной установки специально разработана для решения задач нанотестирования - обеспечивает высокое разрешение при энергиях пучка вплоть до 200 эВ с полем обзора (FOV) ±100 мкм, что позволяет уменьшить негативное воздействие луча на чувствительные образцы.

Платформа объединила в единый комплекс:

  • 8 наноманипуляторов SteadFast™;
  • высокоточный столик для образцов размерами до 50 мм;
  • сканирующий электронный микроскоп (СЭМ);
  • колонна высокого разрешения LEEN™;
  • управляющее программное обеспечение (ПО) NM™;
  • ПО автоматизации eFast™;
  • in situ инструмент для финальной подготовки образца (опционально);
  • небольшой загрузочный шлюз для быстрой смены образцов.

Какие преимущества это дает?

  • Стабильность работы установки: высокая скорость, повторяемое управление движением нанозондов, низкая скорость дрейфа для стабильных электрических измерений
  • Интегрированная система контроля: направляемая последовательность рабочих процессов, программный контроль измерениями и настройками СЭМ увеличивают эффективность работы
  • Колонна СЭМ, специально разработанная под задачи нанозондирования: высокое разрешение при низких значениях ускоряющего напряжения, большое поле обзора (FOV).

Области применения flexProber 

  • Измерение постоянного тока;
  • Измерения импульсных вольтамперных I-V характеристик;
  • Измерение вольт-фарадных C-V характеристик;
  • Электронно-лучевые методы (EBC);
  • Измерение сопротивления, вызванное воздействием электронного луча (EBIRCH).

Вас заинтересовало данное оборудование? 

Читайте подробнее о зондовой установке flexProber Thermo Fisher Scientific >>>

Если Вам необходимо получить более подробную информацию о решениях в области микроэлектроники, обращайтесь в нашу компанию. Присылайте свои вопросы на электронную почту: info@sernia.ru
Мы приглашаем Вас к живому диалогу со специалистами ООО «Серния Инжиниринг» на нашем стенде E421 (пав.1, зал 3) на выставке испытательного и контрольно-измерительного оборудования Testing&Control, которая пройдет в Крокус Экспо 23-25 октября 2018 года.