flexProber – нанозондовая установка на базе СЭМ для локализации дефектов в кристалле
На международном симпозиуме по тестированию и анализу отказов ISTFA -2017 (International Symposium for Testing and Failure Analysis) крупнейший мировой производитель - компания Thermo Fisher Scientific представила новую разработку – нанозондовую установку на базе СЭМ flexProber.
FlexProber предназначена для того, чтобы помочь инженерам быстро локализовать и идентифицировать электрические неисправности в узлах, используя сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) для позиционирования нанозондов на открытых элементах схемы.
Применение flexProber гарантирует быстрое и точное обнаружение неисправности, что повышает производительность и экономическую эффективность разработки процессов изготовления полупроводников приборов, отладки проектов и анализа отказов.
Что нового в установке?
FlexProber имеет в своем составе новую колонну высокого разрешения LEEN с 2х-кратным улучшением разрешения по сравнению со своим предшественником, нанозондовой установкой nProber II. Колонна СЭМ LEEN в составе данной установки специально разработана для решения задач нанотестирования - обеспечивает высокое разрешение при энергиях пучка вплоть до 200 эВ с полем обзора (FOV) ±100 мкм, что позволяет уменьшить негативное воздействие луча на чувствительные образцы.
Платформа объединила в единый комплекс:
- 8 наноманипуляторов SteadFast™;
- высокоточный столик для образцов размерами до 50 мм;
- сканирующий электронный микроскоп (СЭМ);
- колонна высокого разрешения LEEN™;
- управляющее программное обеспечение (ПО) NM™;
- ПО автоматизации eFast™;
- in situ инструмент для финальной подготовки образца (опционально);
- небольшой загрузочный шлюз для быстрой смены образцов.
Какие преимущества это дает?
- Стабильность работы установки: высокая скорость, повторяемое управление движением нанозондов, низкая скорость дрейфа для стабильных электрических измерений
- Интегрированная система контроля: направляемая последовательность рабочих процессов, программный контроль измерениями и настройками СЭМ увеличивают эффективность работы
- Колонна СЭМ, специально разработанная под задачи нанозондирования: высокое разрешение при низких значениях ускоряющего напряжения, большое поле обзора (FOV).
Области применения flexProber
- Измерение постоянного тока;
- Измерения импульсных вольтамперных I-V характеристик;
- Измерение вольт-фарадных C-V характеристик;
- Электронно-лучевые методы (EBC);
- Измерение сопротивления, вызванное воздействием электронного луча (EBIRCH).
Вас заинтересовало данное оборудование?
Читайте подробнее о нанозондовой установке flexProber Thermo Fisher Scientific >>>
Если Ваc заинтересовала нанозондовая установка FlexProber, обращайтесь с нашим специалистам. Наши инженеры ответят на Ваши вопросы по применению данного прибора. Присылайте свои вопросы на электронную почту: info@sernia.ru.