Trion Technology (США) – производитель плазмохимического оборудования для травления и осаждения тонких пленок с 1989 года. Отличительная особенность Trion – особое внимание к новым разработкам на фоне обязательной полной проверки оборудования в реальных условиях производства и обеспечение конечного решения проблемы пользователя.
Новинка 2021 - установка для осаждения тонких пленок Minilock ALD Trion
Компания Trion Technology выпустила новую установку АСО - Minilock ALD. Данная модель разработана специально для выращивания пленок методом атомно-слоевого осаждения в тепловом и плазменном режимах. Архитектура и состав установки позволяет легко масштабировать систему до промышленных масштабов производства. Система стандартно сконфигурирована для пластин до 200 мм, также доступен вариант до 300 мм. Предусмотрены различные опции и возможности расширения исследовательского функционала (например, дополнительный источник микроволновой плазмы).
Ключевые характеристики
- Источник индуктивно связанной плазмы (ICP, PEALD)
- Вакуумный загрузочный шлюз и турбонасос
- 4 точки входа прекурсоров
- Программируемый логический контроллер (ПЛК) и управление с помощью сенсорного экрана
- Соответствие стандартам SEMI S2 и CE
Особенности Minilock ALD
- Плазменный модуль - главная особенность новой установки Minilock ALD. Разработчики добились улучшения технических характеристик оборудования, усовершенствовав систему – в состав установки интегрирован плазменный модуль. Благодаря такому нововведению, стало доступно больше материалов для новых изысканий и развития технологической базы
- Газовый шкаф сконструирован таким образом, что возможно выращивать более толстые пленки с помощью HDCVD или PECVD путем добавления TEOS, DES или силана.
- Другие улучшения: сенсорный экран управления, усовершенствованный реактор, возможность установки до 8 сосудов с прекурсорами, роботизированная загрузка через вакуумный шлюз и многое другое.
Если Вас заинтересовала установка АСО TRION Minilock ALD, обращайтесь в нашу компанию. Наши специалисты проконсультируют Вас и сориентируют по ценам на продукцию. Присылайте свои вопросы на электронную почту: info@sernia.ru или позвоните +7 (495) 204-13-17.
*Инженерный персонал компании Серния Инжиниринг может оказать поддержку в подготовке системы подачи технологических газов.