Quiet Island TMC ™ - новое решение в области подавления вибрационных помех

Какие проблемы решает применение Quiet Island TMC на производстве?

Системы с фальшполами часто используются на заводах по производству полупроводников, в центрах нанотехнологий и других прецизионных производственных и исследовательских центрах. Для организации чистых помещений применяются системы с фальшполами -  для удовлетворения сложных требований к оборудованию (сантехника, электрические кабели, газовые трубы и т. д.) и для поддержания строгих требований к стандартам чистоты.

Такие полы представляют собой проблему при установке чувствительного к вибрации производственного, инспекционного и метрологического оборудования. Фальшполы не соответствуют требованиям для установки подобного оборудования из-за повышенного уровня вибрационного шума.

Quiet Island TMC - решение этой проблемы. Это инновационная разработка, которая заменяет часть фальшпола «тихим островом», закрепленным на нижней части пола (т.е. его основании). Quiet Island состоит из верхней части платформы, совместимой с чистыми помещениями, в сочетании со структурой поддержки места, определенного под инструмент и опорами.

Преимущества Quiet Island TMC по сравнению с обычными фальшполами

Гашение вибрации

Основным элементом поддержки и основной технологией, уникальной для Quiet Island, является система активного подавления вибраций STACIS III. Эта «жесткая» система поддержки инерционного подавления вибраций имеет решающее значение для любого чувствительного к вибрации инструмента, позволяя такому оборудованию работать в соответствии с их высочайшими стандартами к вибрациям. STACIS III совместим с:

• инструментами автоматической обработки пластин;

• инструментами обработки изображений eBeam с высоким разрешением;

• инструментами для ионно-лучевого фрезерования;

• любыми инструментами с внутренними системами виброизоляции (как пассивными, так и активными);

• также обеспечивает наибольшую виброизоляцию в широком диапазоне частот.

Конструкция STACIS III с жестким креплением является стабильной и надежной при работе с высокими, тяжелыми инструментами.

Чрезвычайно жесткие и долговечные опоры для поддержки изоляторов STACIS разработаны опытной командой инженеров TMC и изготовлены в соответствии с высокими стандартами и сварочными сертификатами. Каждый Quiet Island спроектирован с учетом высоты фальшпола, геометрии пола и размещения инструмента

Жесткая платформа

Платформа разработана и изготовлена компанией TMC из ламинированных стальных пластин толщиной 4 дюйма (100 мм) вокруг легкого, твердого материала с демпфированием. Большое поперечное сечение и содержание стали обеспечивают очень высокий уровень общей жесткости. Верх и боковые части представляют собой сплошную цельную оболочку из нержавеющей стали для сохранения чистоты, внешнего вида и целостности.

Проектирование рабочего помещения, отвечающего строгим критериям вибрации чрезвычайно точного оборудования для визуализации, может быть очень сложным и зачастую сопряжено с большими затратами, особенно когда не всем инструментам требуются эти очень низкие уровни вибрации.

Очень трудно изолировать очень большие площади, такие как целые здания или целый этаж. Также хорошо задокументировано, что уровни вибрации здания будут увеличиваться относительно проектной спецификации, так как объект заполнен оборудованием и людьми. Повторные измерения вибрации, проведенные через несколько месяцев или через год, показывают, что уровни вибрации пола обычно повышаются со временем. 

Статистическое представление вертикальных колебаний в типичной производственной зоне полупроводниковой фабрики. Красный – в момент постройки, зеленый – спустя 14 месяцев, синий – спустя 17 месяцев

Более экономичный и успешный подход для достижения строгих требований к чувствительным к вибрации инструментам заключается в использовании активного контроля вибрации в месте использования с последовательной пьезоэлектрической технологией, в частности, для смягчения сложной низкочастотной (менее 5 Гц). 

Компания TMC готова к совместной работе с командой заказчика, чтобы разработать решение Quiet Island для конкретного инструмента. Этот процесс позволяет Компании TMC взглянуть на каждый инструмент в отдельности и предоставить наиболее эффективное решение. Конструкция здания, включающая одну большую бетонную плиту нижнего этажа с «фальшполом», обеспечивает гибкость выбора инструмента после постройки.

Технология STACIS

STACIS - технология активной пьезоэлектрической вибрации подавления TMC не имеет аналогов в отрасли благодаря своей конструкции с жестким креплением и изоляцией, начиная с 0,6 Гц, совместимой с инструментами с внутренними изоляторами.

Измерение передачи при виброизоляции Quiet Island  
40 "x 60" высотой 24 ", 4-х опорная STACIS, вход VC-C с пола

Модульность, гибкость настройки и перемещения

Каждая платформа индивидуально адаптирована к потребностям клиента, но может быть легко перенастроена, если характеристики инструмента или пола изменятся.

Экспертность

TMC имеет большой опыт работы с ведущими мировыми производителями полупроводников, научным оборудованием и сверхточными OEM-производителями. TMC знает своих клиентов и их потребности. TMC проектирует и производит на месте.

Нет требований к подавлению вибрационных помех? – ваш вариант -  Rigid Quiet Island

Большие инструменты без требований к вибрационным помехам очень часто требуют жесткой и устойчивой опоры, отделенной от фальшпола. Rigid Quiet Island - это идеальное решение для таких случаев. 

Rigid Quiet Islands также спроектированы по индивидуальному заказу для установки в чистых помещениях с фальшполом любой высоты, любой геометрии основания и для различных посадочных мест инструмента. TMC предлагает ряд различных типов опор для удовлетворения различных требований, что приводит к решению, разработанному специально для прибора, но при этом является модульным, обеспечивает гибкость перемещения и возможность модернизации.

Технические характеристики Quiet Island TMC

Выводы

• Замена фальшпола на «тихие острова» Quiet Island только там, где это необходимо, обеспечивает возможность использования инструментов с требованиями к вибрационным помехам на порядок чувствительнее, чем без подобного решения.

• Для фальшполов с небольшими геометрическими размерами может быть разработана более компактная версия Quiet Island с использованием изоляторов STACIS IIIc.
  
• TMC разрабатывает и производит платформы, специфичные для конкретного применения, включая вырезы, специальные формы, отверстия для сращивания и подъемные болты по мере необходимости.
  
• Благодаря тысячам установок по всему миру, поддерживающих более 200 различных моделей приборов, TMC обладает знаниями и опытом для разработки структуры поддержки, отвечающей потребностям заказчика.