Метод когерентной корреляционной интерферометрии

Постоянно растущие требования к технологии нанесения тонких пленок ведет к росту требований к оборудованию, контролирующему их качество. Важно контролировать как толщину, так и равномерность пленок с целью обеспечения качества, эффективности и их функциональности.

В метрологии используется несколько методов для измерения толщины пленки. К традиционным относятся методы спектрофотометрии и эллипсометрии. В последнее время становится популярен метод Когерентной Сканирующей Интерферометрии (CSI) из-за его высокого пространственного разрешения и скорости. Тем не менее, одним из ограничений традиционной интерферометрии является толщина покрытия, которая может быть измерена. Как правило, она должна быть больше, чем 1,5 мкм, чтобы получить точные данные.

Теперь можно измерить толщину от 50 нм или менее, используя метод Когерентной Корреляционной интерферометрии (Coherence Correlation Interferometry, CCI) совместно сHCF (Helical Complex Field) методом. 

Метод HCF был разработан и запатентован компанией Taylor Hobson (Ametek) для извлечения информации о пленке. Благодаря применению функции HCF, метод CCI становится идеальным способом для получения информации о толщине пленки. Метод используется для измерения толщины с большой  точностью в диапазоне от ~ 5 мкм до ~ 50 нм. Пленки толщиной до 50 нм также могут быть измерены. Однако, переход на измерение таких тонких пленок требует большой аккуратности и точность измерений зависит от оптических свойств материала. Оба методы реализованы в приборе компании Taylor Hobson CCI HD – оптическом профилометре для замеров характеристик поверхности и толщины пленки с высоким разрешением.

CCI HD

CCI HD - трехмерный оптический профилометр для замеров характеристик поверхности и толщины пленки с высоким разрешением

Революционный бесконтактный оптический профилометр CCI HD гарантирует достоверность результатов трехмерного измерения поверхности любого компонента при любой скорости. Уникальная 4-мегапиксельная камера с вертикальным разрешением 1/10 ангстрема позволяет исследовать с невероятным уровнем детализации любые поверхности, от очень неровных до исключительно гладких.

Автоматическое распознавание поверхности

Функция AutoFringeFind ускоряет проверку, устраняя потребность в ручных настройках и повторных замерах из-за ошибки идентификации поверхности образца. В отличие от обычной функции автоматической фокусировки, которая работает только с ровными, плоскими поверхностями, предлагаемое инновационное сочетание программного обеспечения и оптики автоматически и быстро распознает ЛЮБЫЕ поверхности.

Автоматическая настройка диапазона

Наша эксклюзивная функция AutoRange существенно ускоряет измерение благодаря автоматическому выбору диапазона сканирования, оптимального для данной поверхности образца. Вручную диапазон сканирования обычно настраивается "на глазок", что часто приводит к сканированию лишних областей, большим временам измерения и разочарованию даже самых опытных операторы.

Универсальная методика измерения

Проверку можно упростить, исключив несколько процедур осмотра и отчетов о несовместимых измерениях. Запатентованный алгоритм корреляции связей дает разрешение меньше одного ангстрема при любом диапазоне сканирования. Таким образом, любые поверхности на любом этапе производства можно измерять с помощью одного и того же инструмента и методики.

Измерения толщин пленок и шероховатости

CCI HD используется для измерения толщины пленок и шероховатости  различных объектов:

Профилирование канавки в кремнии	Акселерометр МЭМС	МЭМС

Основные характеристики