Зондовые измерения – современный способ оценки качества и контроля в микроэлектронике
Зондовые измерения становятся обязательной частью процесса ОТК на производстве в микроэлектронике, а также при проведении различного рода испытаний и исследований. Вопросы контроля качества производимых полупроводниковых приборов теперь касаются всех этапов создания готового продукта, включая контроль и качество исходной пластины на начальном этапе. Необходимость ОТК не только готового продукта после сборки, но даже исходных пластин полупроводников продиктована постоянной интенсификацией производства, усложнению формата готового продукта и потребностью снижения себестоимости продукции.
Зондовые измерения позволяют:
-
провести межоперационный контроль;
- провести параметрический анализ готового продукта;
- провести функциональный анализ готового продукта;
- проверить и подтвердить основные параметры разрабатываемого изделия перед сборкой.
Испытания полупроводников на зондовых станциях
- Параметрический анализ состоит их ВАХ, ВФХ и импульсных измерений. Измерение идет при генерации низкочастотного или постоянного сигнала без тестирования функционала устройства (сигнал на вход/регистр отклика на выходе). По итогам параметрических измерений делаются выводы о текущей эффективности технологического процесса (качество/доля брака). Новый параметрический анализатор Keithley 4200A-SCS позволяет проводить качественный и одновременно простой, с технологической точки зрения, параметрический и функциональный анализ. Модульная структура 4200A-SCS обеспечивает оперативное переключение между режимом измерения ВАХ и режимом измерения ВФХ, причем ВФХ можно измерять на любом выводе компонента без перемещения пробника или переключения кабелей;
- Тестирование по методикам измерения и контроля характеристик (ИУ) – дает возможность вывести функциональные особенности испытуемого устройства. В результате полученных данных можно проводить дальнейшую разработку и анализ характеристик ИУ (компьютерное моделирование) и корректировать технологический процесс производства;
- Сортировка испытуемых устройств по категориям в зависимости от степени отклонения параметра от заданной величины. Такой анализ гарантирует заданный уровень точности параметров выпускаемых готовых устройств.
Зондовая станция SEMIPROBE – точный зондовый контроль элементов на пластине
Зондовые станции компании SEMIPROBE – это комплекс технических средств на базе оптического микроскопа с функцией проведения высокочастотных измерений и на постоянном токе. Решение имеет наращиваемую архитектуру – базовую станцию возможно адаптировать под различный объем измерительных задач. В линейке зондовых станций Probe System for Life (PS4L) доступно 18 моделей (диаметр столика от 50 до 450 мм), а также 3 варианта управления: ручное, полуавтомат, автоматическое.
Базовая комплектация станции SEMIPROBE:
- платформа с антивибрационной столешницей и вакуумным столиком для точного позиционирования зондов;
- комплект механизмов и креплений для перемещения по осям XYZ стола с образцами;
- оптический микроскоп (тринокулярный) с выводом картинки на монитор и светодиодной насадкой;
- измерительный прибор подходящий под ваши задачи (например, для полноценного параметрического анализа мы предлагаем параметрический анализатор Keithley 4200A-SCS).
Функционал зондовой станции SEMIPROBE:
- позиционирование зондов на контактные площадки под микроскопом с помощью микропозиционеров;
- перемещения зонда микропозиционерами с помощью микровинтов;
- микровинт проводит точный прижим зонда к контактной площадке для электрического контакта в заданной точке;
- ход процесса и все данные транслируются на монитор (опция) с функцией регулировки яркости подсветки рабочей зоны;
- изделие перемещается по осям XYZ (стол с образцами), а также поворот по оси тэта под микроскопом зондовой станции;
- система перемещения имеет режимы грубого и плавного (микрометры) хода для наиболее точного позиционирования;
- механизм одновременного подъема/опускания всех позиционеров;
- антивибрационная столешница (оптический стол) исключает передачу на образец, микроскоп и иголки зондовой станции механических вибраций;
- соединение измерительного прибора прямо на зонды коаксиальными кабелями обеспечивает целостность и достоверность результатов тестирования.
Зондовая станция SEMIPROBE в лаборатории – это проще, чем вы думаете!
- Вы получаете реально высокое качество проводимых измерений по минимально возможной стоимости для комплексов такого уровня и возможностей;
- Вы можете комплектовать (усложнять/упрощать) станцию под конкретные задачи – в наличии уникальная совместимость с любым измерительным, аналитическим, технологическим оборудованием;
- Вы действительно получаете полноценный современный функционал при сохранении компактности системы – идеальное решение для лаборатории;
- Вы можете выбирать из широкого модельного ряда (18 вариантов) и использовать различные размеры подложек;
- Вы всегда можете рассчитывать на полное пред-инсталляционное обследование помещения, пуско-наладочные работы, обучение и полный пост-продажный сервис по зондовым станциям SEMIPROBE от «Сернии Инжиниринг».
Если Вам необходимо получить более подробную информацию о зондовых измерениях, обращайтесь в нашу компанию. Наши специалисты расскажут подробно о методах зондовых измерений и подберут для Вас соответствующее оборудование. Присылайте свои вопросы на электронную почту: info@sernia.ru.
