Соединяя науку и технологии office@sernia.ru
пн-пт 10:00 – 19:00
сб-вс выходные
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

Как проверить качество полупроводника с помощью зондовых технологий?

предыдущий следующий
21 Сентября 2018
Зондовые измерения на станциях SEMIPROBE PS4L - современный доступный способ испытания полупроводников в микроэлектронике

Зондовые измерения – современный способ оценки качества и контроля в микроэлектронике 

Зондовые измерения становятся обязательной частью процесса ОТК на производстве в микроэлектронике, а также при проведении различного рода испытаний и исследований.  Вопросы контроля качества производимых полупроводниковых приборов теперь касаются всех этапов создания готового продукта, включая контроль и качество исходной пластины на начальном этапе. Необходимость ОТК не только готового продукта после сборки, но даже исходных пластин полупроводников продиктована постоянной интенсификацией производства, усложнению формата готового продукта и потребностью снижения себестоимости продукции. 

Зондовые измерения позволяют: 

  • провести межоперационный контроль; 
  • провести параметрический анализ готового продукта;
  • провести функциональный анализ готового продукта;
  • проверить и подтвердить основные параметры разрабатываемого изделия перед сборкой.

Испытания полупроводников на зондовых станциях

  • Параметрический анализ состоит их ВАХ, ВФХ и импульсных измерений. Измерение идет при генерации низкочастотного или постоянного сигнала без тестирования функционала устройства (сигнал на вход/регистр отклика на выходе). По итогам параметрических измерений делаются выводы о текущей эффективности технологического процесса (качество/доля брака). Новый параметрический анализатор Keithley 4200A-SCS позволяет проводить качественный и одновременно простой, с технологической точки зрения, параметрический и функциональный анализ. Модульная структура 4200A-SCS обеспечивает оперативное переключение между режимом измерения ВАХ и режимом измерения ВФХ, причем ВФХ можно измерять на любом выводе компонента без перемещения пробника или переключения кабелей;
  • Тестирование по методикам измерения и контроля характеристик (ИУ) – дает возможность вывести функциональные особенности испытуемого устройства. В результате полученных данных можно проводить дальнейшую разработку и анализ характеристик ИУ (компьютерное моделирование) и корректировать технологический процесс производства;
  • Сортировка испытуемых устройств по категориям в зависимости от степени отклонения параметра от заданной величины. Такой анализ гарантирует заданный уровень точности параметров выпускаемых готовых устройств.

Зондовая станция SEMIPROBE – точный зондовый контроль элементов на пластине

Зондовые станции компании SEMIPROBE – это комплекс технических средств на базе оптического микроскопа с функцией проведения высокочастотных измерений и на постоянном токе. Решение имеет наращиваемую архитектуру – базовую станцию возможно адаптировать под различный объем измерительных задач. В линейке зондовых станций Probe System for Life (PS4L) доступно 18 моделей (диаметр столика от 50 до 450 мм), а также 3 варианта управления: ручное, полуавтомат, автоматическое.

Базовая комплектация станции SEMIPROBE: 

  • платформа с антивибрационной столешницей и вакуумным столиком для точного позиционирования зондов;
  • комплект механизмов и креплений для перемещения по осям XYZ стола с образцами;
  • оптический микроскоп (тринокулярный) с выводом картинки на монитор и светодиодной насадкой;
  • измерительный прибор подходящий под ваши задачи (например, для полноценного параметрического анализа мы предлагаем параметрический анализатор Keithley 4200A-SCS). 

Функционал зондовой станции SEMIPROBE:

  • позиционирование зондов на контактные площадки под микроскопом с помощью микропозиционеров;
  • перемещения зонда микропозиционерами с помощью микровинтов;
  • микровинт проводит точный прижим зонда к контактной площадке для электрического контакта в заданной точке;
  • ход процесса и все данные транслируются на монитор (опция) с функцией регулировки яркости подсветки рабочей зоны;
  • изделие перемещается по осям XYZ (стол с образцами), а также поворот по оси тэта под микроскопом зондовой станции;
  • система перемещения имеет режимы грубого и плавного (микрометры) хода для наиболее точного позиционирования;
  • механизм одновременного подъема/опускания всех позиционеров;
  • антивибрационная столешница (оптический стол) исключает передачу на образец, микроскоп и иголки зондовой станции механических вибраций;
  • соединение измерительного прибора прямо на зонды коаксиальными кабелями обеспечивает целостность и достоверность результатов тестирования.

Зондовая станция SEMIPROBE в лаборатории – это проще, чем вы думаете!

  • Вы получаете реально высокое качество проводимых измерений по минимально возможной стоимости для комплексов такого уровня и возможностей;
  • Вы можете комплектовать (усложнять/упрощать) станцию под конкретные задачи – в наличии уникальная совместимость с любым измерительным, аналитическим, технологическим оборудованием;
  • Вы действительно получаете полноценный современный функционал при сохранении компактности системы – идеальное решение для лаборатории;
  • Вы можете выбирать из широкого модельного ряда (18 вариантов) и использовать различные размеры подложек;
  • Вы всегда можете рассчитывать на полное пред-инсталляционное обследование помещения, пуско-наладочные работы, обучение и полный пост-продажный сервис по зондовым станциям SEMIPROBE от «Сернии Инжиниринг».
Читать подробнее о зондовой станции PS4L M-6 SEMIPROBE >>>
Если Вам необходимо получить более подробную информацию о зондовых измерениях, обращайтесь в нашу компанию. Наши специалисты расскажут подробно о методах зондовых измерений и подберут для Вас соответствующее оборудование. Присылайте свои вопросы на электронную почту: info@sernia.ru.