Серия ручных зондовых станций Probe System for Life (PS4L) M4/М6/М8/М12 для зондирования пластин размерами от 100 до 300 мм на основе оригинальной адаптивной архитектуры.
Основные сведения о зондовых станциях PS4L М4/M6/М8/М12 SEMIPROBE
Зондовые станции SemiProbe моделей M4/ M6/ M8/ M12 – это модульные и конфигурируемые ручные станции для работы со 100/150/200/300-миллиметровыми пластинами. Они разработаны на базе архитектуры «Probe System for Life» (PS4L), которая обеспечивает особую гибкость настройки оборудования и значительную экономию средств. Также возможно изготовление зондовых станций данной серии для для пластин 50 мм и 450 мм по индивидуальному запросу Заказчика.
В отличие от традиционных зондовых систем, все основные модули SemiProbe – основание, столики, держатели образцов, крепления микроскопа, подвижные части микроскопа, оптика, манипуляторы и прочие – являются взаимозаменяемыми, что делает PS4L прекрасным решением для любого бюджета и для различных задач.
Такая уникальная модульная конструкция предоставляет потребителям возможности тестирования, которые точно отвечают их требованиям. Что ещё более важно, при изменении задач или условий тестирования, PS4L может быть с лёгкостью модернизирована в соответствии с новыми требованиями.
Подобная философия проектирования систем позволяет потребителям PS4L существенно экономить время и средства по сравнению с использованием традиционных зондовых систем, так как у них не возникает необходимости вкладывать деньги в новые платформы в случае изменения размеров пластин, требований к тестам или степени их автоматизации.
Интеграция с контрольно-измерительными приборами
Мощное ПО на основе библиотек DLL позволяет пользователям быстро и легко устанавливать связь с зондовой станцией и контрольно-измерительными приборами. Для LabView, C ++ и Visual Basic доступны полные библиотеки драйверов, со специализированными драйверами для поддержки самых современных инструментов, таких как, например, параметрический анализатор Keithley 4200A-SCS. Связь ПО и оборудования осуществляется по протоколам RS-232, GPIB или TCP/IP, что позволяет зондовой станции выступать в качестве основного или ведомого устройства в случае интеграции с другими системами.
Область применения зондовых станций PS4L М4/M6/М8/М12 SEMIPROBE
Определение параметров объектов, МЭМС, оптоэлектроника, ВЧ и СВЧ устройства, силовая электроника, солнечные батареи, анализ отказов, научные исследования, материаловедение и др.
Преимущества зондовых станций PS4L М4/M6/М8/М12 SEMIPROBE
- Ручные станции для исследования 100/150/200/300 мм пластин с возможностью апгрейда до более продвинутых версий: для работы с большими размерами пластин, ручных или полуавтоматических конфигураций;
- Все основные компоненты системы – взаимозаменяемые, для упрощения конфигурирования системы в условиях новых задач или возможностях бюджета;
- Программные и аппаратные модули разработаны таким образом, чтобы всегда была возможность их модернизации на месте размещения.
Технические характеристики зондовых станций PS4L М4/M6/М8/М12 SEMIPROBE
|
Размеры |
900 мм x 650 мм x 750 мм (модели M4/M6/M8) (Ш,В,Д) – с установленной оптикой; 1200 мм х 650 мм х 900 мм (модель M12) (Ш,В,Д) – с установленной оптикой |
|
Вес |
70 кг /73 кг /75 кг/110 кг |
|
Перемещение столика по осям X-Y |
Быстрое выравнивание стола с режимами грубого и плавного перемещения - грубо >100/150/200/300 мм, плавно 25 мм |
|
|
Ход по (X, Y) 25 мм: плавное перемещение стола по X, Y с помощью прецизионных микрометров |
|
|
Планарность: +/- 7.5 мкм за один полный ход |
|
|
Разрешение: 5 мкм |
|
|
Типы столов: с поддержкой быстрого выравнивания (стандартно), соосный и программируемый (опция) |
|
Перемещение столика по оси Z |
Ход по Z: >20 мм с использованием прецизионного микрометра |
|
Вращение столика |
Ход: Грубо (360 градусов) и плавно (>10 градусов) с фиксатором положения |
|
Держатели образцов |
Вакуумная или механическая фиксация образца, круглый или квадратный, трехосный, HF, HV/HC, для высоких напряжений/токов, для текущей температуры, с нагревом и заданной пользователем температуры |
|
|
Для кристаллов, сборок пластин, частей пластин на рамках, расколотых и полных пластин до 100/150/200/300 мм |
|
|
Сталь с никелевым покрытием и концентрическими вакуумными кольцами (стандартно), доступны другие материалы покрытия |
|
|
Планарность: 5 мкм |
|
Основание для размещения зондов |
Алюминиевое, покрытое нержавеющей сталью, извлекаемое, с клиновым фиксатором |
|
|
Поворот манипуляторов на 360 градусов |
|
|
Фиксация манипуляторов – магнитная (стандартно), вакуумная (опция с комплектом вакуумных магистралей) |
|
Перемещение основания для зондов |
Подъем основания: фиксированный или настраиваемый (линейно) |
|
|
Настройка: грубо 40 мм, плавно 200 мкм - шаг перемещения при приближении/удалении – с блокировкой |
|
Крепление/перемещение микроскопа |
Крепление – на штанге, на стойке или мостовое |
|
|
Перемещение – ручное или программируемое – 50 x 50 мм, 50 x 75 мм, 100 x 100 мм или 200 x 200 мм |
|
Микроскоп (оптические системы) |
Микроскопы систем Stereo Zoom, Zoom Tube, A-Zoom или совместимые |
|
Инженерное обеспечение |
Питание: 110/220В 50-60 Гц 20A |
|
|
Вакуум: 23 дм. рт. ст. или -0.8 бар |
Спецификация зондовой станции PS4L модель M6 SEMIPROBE
|
Наименование |
Описание |
|
Платформа на базе ручной составной зондовой станции с микроскопом — Manual PS4L with Compound Microscope Probe System for Life Platform |
Станина с ручным механическим столиком, куда устанавливается полу- проводниковый прибор (до 150 мм в диаметре), ручным подъемным механизмом для установки на него стальной плиты для микропозиционеров и системой монтажа оптического микроскопа |
|
Столешница серии CleanTop II размером 30» х 36» дюймов — 30» X 36» CleanTop II Breadboard |
Антивибрационная столешница с сотовой структурой внутри предназначена для уменьшения механических вибраций, передающихся на образец, микроскоп и иголки зондовой станции |
|
Система ручного стола 150 мм “Быстрое перемещение 2”—150 mm Rapid Advance 2 Stage manual system |
Комплект механизмов и креплений для перемещения по осям X,Y,Z стола с образцами, расположенных под микроскопом зондовой станции. Обеспечивает ход по осям X,Y – 150 мм. Имеет систему грубого и тонкого хода для точного позиционирования |
|
150 мм желобчатый вакуумный столик с никелевым покрытием — 150 mm 6» Grooved Nickel- Plated Vacuum Chuck |
Стальной круглый “блин” с гальваническим никелевым покрытием диаметром 150 мм. На поверхности выполнены углубления, благодаря чему осуществляется равномерный прижим плоских образцов образцов |
|
Комплект подъема плиты с малым диапазоном перемещения с тонким и грубым ходом — PS4L Small Travel Platen Lift Kit with coarse and fine platen movement |
Комплект механизмов, креплений, стальной плиты для размещения на ней микропозиционеров с магнитной базой и возможностью перемещения всей плиты по оси Z для осуществления одновременного подъема или опуска всех позиционеров |
|
Мост для размещения на нем оптического микроскопа с возможностью перемещения микроскопа — Compound microscope bridge movement and adapter kit |
Комплект механизмов и креплений для размещения на нем оптического микроскопа с возможностью перемещения микроскопа по осям X, Y на 50 мм. Позволяет перемещать микроскоп над образцом |
|
Тринокулярный микроскоп PSM-1000 — PSM- 1000 compound Microscope with trinocular head |
Микроскоп тринокулярный, предназначенный для установки на станину зондовой станции. Служит для визуализации перемещения зондов и установки их на площадки полупроводниковых приборов |
|
Объектив апохроматический Motic ELWD 5x — Motic Plan Apochromat ELWD 5x Objective |
Объектив для микроскопа 5-ти кратного увеличения |
|
Объектив Motic ELWD 5x — 20x Motic ELWD Objective |
Объектив для микроскопа 20-ти кратного увеличения |
|
Объектив апохроматический Motic ELWD 50x— Motic Plan Apochromat ELWD 50X Objective |
Объектив для микроскопа 50-ти кратного увеличения |
|
100X Objective — Объектив 100х |
Объектив для микроскопа 100 кратного увеличения |
|
Адаптер С-mount для подключения CCD камеры — CCD Camera Adapter - C mount |
Зонд – вольфрамовая игла с определенным размером кончика, с помощью которой осуществляется контакт с площадкой полупроводниковых приборов. Устанавливается на микропозиционер с помощью держателей зондов |
|
Комплект HV/HC интерфейсов для темного бокса или светового занавеса — HV/HC Interface Kit for Dark Box or Light Curtain |
Панель с установленными BNC (коаксиальными) разъемами (4 шт.), триаксиальными разъемами (4 шт.), разъемами для подключения высоковольтных , высокотоковых цепей (3 шт.) и остальными разъемами (HF, SMA, Optical) для удобной коммутации электрических подключений оборудования Keithley к микропозиционерам и зондам |
|
Манипулятор MA-9000 с переключаемой магнитной базой и держателем зондов с триаксиальным подключением с настраиваемой лицевой платой — Complete MA-9000 Manipulator with switchable magnetic base and triaxial probe arm with adjustable faceplate. |
Микропозиционер предназначен для осуществления микроперемещений зондов для точной их установки на площадки полупроводниковых приборов. |
|
20 твердых вольфрамовых зондов, 20 мил — 20 Solid Tungsten Probes, 20mil |
Зонд – вольфрамовая игла с определенным размером кончика, с помощью которой осуществляется контакт с площадкой полупроводниковых приборов. Устанавливается на микропозиционер с помощью держателей зондов. |
|
Настраиваемый держатель для устройств и печатных плат до 8 дюймов шириной — Adjustable Package Parts Holder for printed circuit boards up to 8» wide |
Комплект крепежных элементов для установки на ручной механический столик печатных плат и микросхем в корпусах |
|
Крепеж столика — Chuck mount |
Специальный крепеж, который позволяет устанавливать вакуумный столик на настраиваемый держатель |
|
Лицевая плата для мультипозиционирования — Faceplate for Multipositioning |
Плата для размещения держателей зондов на микропозиционере |
|
Держатель зондов с триаксиальным подключением для SP Манипуляторов – длинная вер- сия — Triaxial Probe Arm for SP Manipulator-Long Version |
Крепежный элемент для установки зондов на микропозиционер. Обеспечивает надежное удержание зонда и электрический контакт с триаксиальным коннектором |
Размеры зондовой станции PS4L модель M6 SEMIPROBE
| Диаметр позиционируемого образца (мм): | 100/150/200/300 мм |
| Тип механизма: | ручной |
| Размеры станции (М4/М6/М8): | 900*650*750 мм |
| Размеры станции (М12): | 1200*650*900 мм |
Заказ товаров
Сделать заказ товара можно несколькими способами:
- Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
- Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.
Оплата товара
Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).
Доставка товара
Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.
Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.
