Соединяя науку и технологии office@sernia.ru
пн-пт 10:00 – 19:00
сб-вс выходные
+7 (495) 204 13 17
8 (800) 301 13 17

Зондовая станция PS4L M4/M6/M8/M12 SEMIPROBE ручная

Цена: По запросу
Производитель: SemiProbe Flag

Серия ручных зондовых станций Probe System for Life (PS4L) M4/М6/М8/М12 для зондирования пластин размерами от 100 до 300 мм на основе оригинальной адаптивной архитектуры.

Скачать документацию Задать вопрос
  • Описание
  • Характеристики
  • Документация

Основные сведения о зондовых станциях PS4L М4/M6/М8/М12 SEMIPROBE

Зондовые станции SemiProbe моделей M4/ M6/ M8/ M12 – это модульные и конфигурируемые ручные станции для работы со 100/150/200/300-миллиметровыми пластинами. Они разработаны на базе архитектуры «Probe System for Life» (PS4L), которая обеспечивает особую гибкость настройки оборудования и значительную экономию средств. Также возможно изготовление зондовых станций данной серии для для пластин 50 мм и 450 мм по индивидуальному запросу Заказчика.  

В отличие от традиционных зондовых систем, все основные модули SemiProbe – основание, столики, держатели образцов, крепления микроскопа, подвижные части микроскопа, оптика, манипуляторы и прочие – являются взаимозаменяемыми, что делает PS4L прекрасным решением для любого бюджета и для различных задач.  

Такая уникальная модульная конструкция предоставляет потребителям возможности тестирования, которые точно отвечают их требованиям. Что ещё более важно, при изменении задач или условий тестирования, PS4L может быть с лёгкостью модернизирована в соответствии с новыми требованиями. 

Подобная философия проектирования систем позволяет потребителям PS4L существенно экономить время и средства по сравнению с использованием традиционных зондовых систем, так как у них не возникает необходимости вкладывать деньги в новые платформы в случае изменения размеров пластин, требований к тестам или степени их автоматизации.

Интеграция с контрольно-измерительными приборами

Мощное ПО на основе библиотек DLL позволяет пользователям быстро и легко устанавливать связь с зондовой станцией и контрольно-измерительными приборами. Для LabView, C ++ и Visual Basic доступны полные библиотеки драйверов, со специализированными драйверами для поддержки самых современных инструментов, таких как, например, параметрический анализатор Keithley 4200A-SCS. Связь ПО и оборудования осуществляется по протоколам RS-232, GPIB или TCP/IP, что позволяет зондовой станции выступать в качестве основного или ведомого устройства в случае интеграции с другими системами.

Область применения зондовых станций PS4L М4/M6/М8/М12 SEMIPROBE

Определение параметров объектов, МЭМС, оптоэлектроника, ВЧ и СВЧ устройства, силовая электроника, солнечные батареи, анализ отказов, научные исследования, материаловедение и др.

Преимущества зондовых станций PS4L М4/M6/М8/М12 SEMIPROBE

  • Ручные станции для исследования 100/150/200/300 мм пластин с возможностью апгрейда до более продвинутых версий: для работы с большими размерами пластин, ручных или полуавтоматических конфигураций;
  • Все основные компоненты системы – взаимозаменяемые, для упрощения конфигурирования системы в условиях новых задач или возможностях бюджета;
  • Программные и аппаратные модули разработаны таким образом, чтобы всегда была возможность их модернизации на месте размещения.

Технические характеристики зондовых станций PS4L М4/M6/М8/М12 SEMIPROBE

Размеры

900 мм x 650 мм x 750 мм (модели M4/M6/M8) (Ш,В,Д) – с установленной оптикой; 1200 мм х 650 мм х 900 мм (модель M12) (Ш,В,Д) – с установленной оптикой

Вес

70 кг /73 кг /75 кг/110 кг

Перемещение столика по осям X-Y

Быстрое выравнивание стола с режимами грубого и плавного перемещения - грубо >100/150/200/300 мм, плавно 25 мм

Ход по (X, Y) 25 мм: плавное перемещение стола по X, Y с помощью прецизионных микрометров

Планарность: +/- 7.5 мкм за один полный ход

Разрешение: 5 мкм

Типы столов: с поддержкой быстрого выравнивания (стандартно), соосный и программируемый (опция)

Перемещение столика по оси Z

Ход по Z: >20 мм с использованием прецизионного микрометра

Вращение столика

Ход: Грубо (360 градусов) и плавно (>10 градусов) с фиксатором положения

Держатели образцов

Вакуумная или механическая фиксация образца, круглый или квадратный, трехосный, HF, HV/HC, для высоких напряжений/токов, для текущей температуры, с нагревом и заданной пользователем температуры

Для кристаллов, сборок пластин, частей пластин на рамках, расколотых и полных пластин до 100/150/200/300 мм

Сталь с никелевым покрытием и концентрическими вакуумными кольцами (стандартно), доступны другие материалы покрытия

Планарность: 5 мкм

Основание для размещения зондов 

Алюминиевое, покрытое нержавеющей сталью, извлекаемое, с клиновым фиксатором

Поворот манипуляторов на 360 градусов

Фиксация манипуляторов – магнитная (стандартно), вакуумная (опция с комплектом вакуумных магистралей)

Перемещение основания для зондов

Подъем основания: фиксированный или настраиваемый (линейно)

Настройка: грубо 40 мм, плавно 200 мкм - шаг перемещения при приближении/удалении – с блокировкой

Крепление/перемещение микроскопа

Крепление – на штанге, на стойке или мостовое

Перемещение – ручное или программируемое – 50 x 50 мм, 50 x 75 мм, 100 x 100 мм или 200 x 200 мм

Микроскоп (оптические системы)

Микроскопы систем Stereo Zoom, Zoom Tube, A-Zoom или совместимые

Инженерное обеспечение

Питание: 110/220В 50-60 Гц 20A

Вакуум: 23 дм. рт. ст. или -0.8 бар


Спецификация зондовой станции PS4L модель M6 SEMIPROBE

Наименование

Описание

Платформа на базе ручной составной зондовой станции с микроскопом — Manual PS4L with Compound Microscope Probe System for Life

Platform

Станина с ручным механическим столиком, куда устанавливается полу- проводниковый прибор (до 150 мм в диаметре), ручным подъемным механизмом для установки на него стальной плиты для микропозиционеров и системой монтажа оптического микроскопа

Столешница серии CleanTop II размером 30» х

36» дюймов — 30» X 36» CleanTop II Breadboard

Антивибрационная столешница с сотовой структурой внутри предназначена для уменьшения механических вибраций, передающихся на образец, микроскоп и иголки зондовой станции

Система ручного стола 150 мм “Быстрое перемещение 2”—150 mm Rapid Advance 2 Stage manual system

Комплект механизмов и креплений для перемещения по осям X,Y,Z стола с образцами, расположенных под микроскопом зондовой станции. Обеспечивает ход по осям X,Y – 150 мм. Имеет систему грубого и тонкого хода для точного позиционирования

150 мм желобчатый вакуумный столик с никелевым покрытием — 150 mm 6» Grooved Nickel- Plated Vacuum Chuck

Стальной круглый “блин” с гальваническим никелевым покрытием диаметром 150 мм. На поверхности выполнены углубления, благодаря чему осуществляется равномерный прижим плоских образцов образцов

Комплект подъема плиты с малым диапазоном перемещения с тонким и грубым ходом — PS4L Small Travel Platen Lift Kit with coarse and fine

platen movement

Комплект механизмов, креплений, стальной плиты для размещения на ней микропозиционеров с магнитной базой и возможностью перемещения всей плиты по оси Z для осуществления одновременного подъема или опуска всех позиционеров

Мост для размещения на нем оптического микроскопа с возможностью перемещения микроскопа — Compound microscope bridge movement and adapter kit

Комплект механизмов и креплений для размещения на нем оптического микроскопа с возможностью перемещения микроскопа по осям X, Y на 50 мм. Позволяет перемещать микроскоп над образцом

Тринокулярный микроскоп PSM-1000 — PSM-

1000 compound Microscope with trinocular head

Микроскоп тринокулярный, предназначенный для установки на станину зондовой станции. Служит для визуализации перемещения зондов и установки их на площадки полупроводниковых приборов

Объектив апохроматический Motic ELWD 5x —

Motic Plan Apochromat ELWD 5x Objective

Объектив для микроскопа 5-ти кратного увеличения

Объектив Motic ELWD 5x — 20x Motic ELWD

Objective

Объектив для микроскопа 20-ти кратного увеличения

Объектив апохроматический Motic ELWD 50x—

Motic Plan Apochromat ELWD 50X Objective

Объектив для микроскопа 50-ти кратного увеличения

100X Objective — Объектив 100х

Объектив для микроскопа 100 кратного увеличения

Адаптер С-mount для подключения CCD камеры

— CCD Camera Adapter - C mount

Зонд – вольфрамовая игла с определенным размером кончика, с помощью которой осуществляется контакт с площадкой полупроводниковых приборов. Устанавливается на микропозиционер с помощью держателей зондов

Комплект HV/HC интерфейсов для темного бокса или светового занавеса — HV/HC Interface Kit for Dark Box or Light Curtain

Панель с установленными BNC (коаксиальными) разъемами (4 шт.), триаксиальными разъемами (4 шт.), разъемами для подключения высоковольтных , высокотоковых цепей (3 шт.) и остальными разъемами (HF, SMA, Optical) для удобной коммутации электрических подключений оборудования Keithley к микропозиционерам и зондам

Манипулятор MA-9000 с переключаемой магнитной базой и держателем зондов с триаксиальным подключением с настраиваемой лицевой платой — Complete MA-9000 Manipulator with switchable magnetic base and triaxial probe arm with adjustable faceplate.

Микропозиционер предназначен для осуществления микроперемещений зондов для точной их установки на площадки полупроводниковых приборов.

20 твердых вольфрамовых зондов, 20 мил — 20

Solid Tungsten Probes, 20mil

Зонд – вольфрамовая игла с определенным размером кончика, с помощью которой осуществляется контакт с площадкой полупроводниковых приборов. Устанавливается на микропозиционер с помощью держателей зондов.

Настраиваемый держатель для устройств и печатных плат до 8 дюймов шириной — Adjustable Package

Parts Holder for printed circuit boards up to 8» wide

Комплект крепежных элементов для установки на ручной механический столик печатных плат и микросхем в корпусах

Крепеж столика — Chuck mount

Специальный крепеж, который позволяет устанавливать вакуумный столик на настраиваемый держатель

Лицевая плата для мультипозиционирования

— Faceplate for Multipositioning

Плата для размещения держателей зондов на микропозиционере

Держатель зондов с триаксиальным подключением для SP Манипуляторов – длинная вер- сия — Triaxial Probe Arm for SP Manipulator-Long

Version

Крепежный элемент для установки зондов на микропозиционер. Обеспечивает надежное удержание зонда и электрический контакт с триаксиальным коннектором


Размеры зондовой станции PS4L модель M6 SEMIPROBE

M6_график_размеры.jpg
Диаметр позиционируемого образца (мм): 100/150/200/300 мм
Тип механизма: ручной
Размеры станции (М4/М6/М8): 900*650*750 мм
Размеры станции (М12): 1200*650*900 мм
Похожие товары
Обратите внимание на похожие модели и аналоги, как альтернативу вашему выбору.

 

  • Оформление заказа
  • Доставка
  • Техподдержка
masyuk.jpg
  • Отправьте запрос на сайте через форму обратной связи «ЗАКАЗАТЬ». Укажите необходимое количество товара и нужный способ доставки, любые другие детали запроса.
  • Отправьте запрос на e-mail am@sernia.ru с темой «Запрос на оборудование», указав необходимое количество товара, сроки и способ доставки, любые другие детали запроса.
  • Позвоните  по телефону  +7 (495) 204-13-17 или  8 (800) 301-13-17 (бесплатный звонок для регионов), доб. 203, контактное лицо - Масюк Алексей Владимирович.

Варианты доставки оборудования:

Доставка SERNIA
  • Доставка транспортной компанией СПСР-экспресс до двери получателя. Стоимость доставки включается в счет;
  • Доставка любой другой транспортной компанией (до двери или до терминала ТК в вашем городе). Оплата доставки осуществляется при получении;
  • Самовывоз (Москва, Воробьевы Горы, Физический факультет МГУ,1, стр.2);
  • Доставка курьером по Москве и ближнему Подмосковью. Стоимость доставки включается в счет.

Сомневаетесь в выборе прибора? Проконсультируйтесь с нашим специалистом по измерительному оборудованию!

kolybin.jpg
  • На все вопросы Вам ответит инженер департамента измерительных комплексов Колыбин Станислав Игоревич.
  • Свяжитесь с ним по тел. +7 (495) 204-13-17 или
  • Отправьте письмо на e-mail: info@sernia.ru с указанием темы «Тех. консультация».
  • В письме укажите Ваш контактный телефон. Инженер свяжется с Вами в течении 1 часа.