Работы на двулучевом электронно-ионном микроскопе
Электронный двулучевой микроскоп позволяет получить электронные и ионные изображения при высоком увеличении до 500 000х. Приставка микроанализа и дифракции отраженных электронов позволяет получить сведения о структуре и составе материалов.
С помощью микроманипулятора имеется возможность подготовки образцов для просвечивающего электронного микроскопа. Так же на микроскопе имеются приставки для работы при низких температурах (до – 170 °С) и при высоких температурах (до 1000 °С).
- Изучение морфологии объектов на увеличениях до 500 000х: Стоимость 6500 руб./час. Минимальное время проведения работ - 1 час.
- Работа в режимах низкого вакуума и естественной среды: Стоимость 6500 руб./час. Минимальное время проведения работ - 2 часа.
- Энерго-дисперсионная рентгеновская спектроскопия: Стоимость 6500 руб./час. Минимальное время проведения работ - 1 час.
- Анализ методом дифракции отраженных электронов: Стоимость 6500 руб./час. Минимальное время проведения работ - 2 часа.
- Анализ p-n структур методом тока, наведенного электронным лучом: Стоимость 6500 руб./час. Минимальное время проведения работ - 4 часа.
- Работа с биологическими или жидкими образцами при низких температурах с охлаждением жидким азотом: Стоимость 6500 руб./час. Минимальное время проведения работ - 8 часов.
- Получение поперечных срезов в ионном пучке: Стоимость 6500 руб./час. Минимальное время проведения работ - 2 часа.
- Подготовка образцов для просвечивающего электронного микроскопа: Стоимость 6500 руб./час. Минимальное время проведения работ - 4 часа.
Отчетность по проведенным исследованиям
По итогам проведенных работ Вы получите отчет о проведенных исследованиях.Формат отчета может быть разработан на основе Ваших требований. Если таковых не имеется, то Вы получите стандартный отчет об проведенных исследованиях, разработанный нашей компанией.
Пример отчета об исследовании
Отчет-исследование на электронном микроскопе образца Si-Ti-Au
ОПИСАНИЕ: При формировании топологических слоев микросхем часто используется многослойная структура. Это может быть связано как с адгезионными свойствами материалов, так и с технологическими, когда дополнительный слой металла или полупроводника выступает в качестве легирующей примеси.В качестве образца для исследования нам были предоставлены кремниевая пластина с нанесенной двухслойной структурой Ti-Au после термического отжига. На поверхности двухслойной структуры после отжига наблюдаются зерна, отличающиеся по структуре.
ЗАДАЧА: необходимо определить структуру и возможные причины образования зерен.
РЕШЕНИЕ: для исследования профиля было выполнено создание кросс-секции: ионной пушкой произведено травление локальной области размером 10х10х5 мкм на центральном участке пластины. (рис. 1). Для создания кросс-секции был нанесен технологический слой Pt, указанный на рисунке.
На рисунке 1 явно выражена структура слоев.
Поверхность образцов имеет неоднородную структуру (рис. 2).
На вершинах пологих выпуклостей видна структура с достаточно ровными краями. Нами выдвинуто предположение что это кристаллическая структура Ti.
Для дальнейшего исследования был использован энергодисперсионный рентгеновский спектрометр (метод EDX). Ниже, на рисунке 3 приведен спектр кросс-секции с разделением по материалам.
Появление на спектре галлия (Ga) объясняется использованием ионного луча на основе галлия. Кислород с углеродом присутствуют в качестве органических загрязнений. Так же углерод может появляться на спектре из-за нагара, оставляемого сканирующем электронным лучом.
Рис. 3. Наложение спектра EDS на электронное изображение поперечного среза.
Вывод: Структура двухслойной поверхности после термического отжига перестала представлять собой слоистую структуру. Титан собрался в зерна, которые обволокло золото. Наиболее вероятные причины данного явления – недостаточная адгезия подслоя титана к кремнию и неподходящий технологический режим проведения термического отжига.
Скачать пример отчета в pdf