ESPOO, Финляндия, 2 июня 2021 г. – Picosun Group, ведущий поставщик решений для АСО (ALD), находится на рассмотрении патентных прав на новое изобретение для защиты от коррозии при плазменном травлении с технологией АСО (ALD).
PICOSUN PicoArmour - защита от коррозии при плазменном травлении
Новое изобретение, PicoArmour, принесет преимущества в процессах производства полупроводников с точки зрения производительности, однородности пленки и соответствия требованиям. С PicoArmour защита от коррозии может быть достигнута более эффективно по сравнению с известными отраслевыми решениями, используемыми сегодня.
Технологические процессы изготовления пластины включают несколько этапов, на которых необходимо плазменное травление. Неизбежным следствием использования химикатов для травления является травление самого инструмента. Распространенным промышленным решением для уменьшения повреждения инструмента является нанесение коррозионностойкого покрытия на инструмент для травления. Например, зачастую используется PVD или напыления с Y2O3.
Picosun PicoArmour, на основе технологии АСО (ALD), обеспечивает до пяти раз более быстрый и экономичный способ производства покрытия по сравнению с использованием только покрытия Y2O3 и может быть в пять раз более долговечным по сравнению с покрытием Al2O3.
Кроме этих преимуществ, также увеличивается интервал обслуживания инструментов для травления, что также приводит к значительному снижению производственных затрат.
Применение PicoArmour PICOSUN на производстве
«Подход Picosun к PicoArmour заключается в объединении процесса АСО (ALD) с высокой устойчивостью к травлению Y2O3 с более надежными процессами ALD. Высокопроизводительный барьер от коррозии на основе технологии АСО (ALD), сочетающий скорость и удобство процесса Al2O3 с долговечностью Y2O3, может быть достигнут путем тщательного контроля состава пленки. С помощью АСО (ALD) защитный эффект может быть достигнут с помощью более тонких пленок, что, в свою очередь, приводит к экономии материалов и более экологически безопасному процессу», - заявляет Юхана Костамо, вице-президент по промышленному бизнесу Picosun Group».
О компании Picosun
Компания Picosun предлагает самые современные решения для тонкопленочных покрытий AGILE ALD® (Atomic Layer Deposition) для мировой промышленности. Решения Picosun для АСО (ALD) позволяют совершить технологический скачок в будущее с производственными процессами «под ключ» и непревзойденным новаторским опытом в этой области, начиная с изобретения самой технологии. Сегодня оборудование PICOSUN® ALD ежедневно используется во многих ведущих отраслях промышленности по всему миру.
Головной офис компании Picosun находится в Финляндии, имеются дочерние компании в Германии, США, Сингапуре, Японии, Южной Корее, Китае и на Тайване, а также представительства в Индии и Франции, и всемирная сеть продаж и поддержки. Компания "Серния Инжиниринг" является официальным дистрибьютором оборудования Picosun в России.
Каталог продукции компании Picosun >>>
Заинтересовало оборудование для атомно-слоевого осаждения Picosun? Обращайтесь к нашим специалистам! Мы подберем оборудование под Ваши цели и задачи и сориентируем Вас по ценам на продукцию. Присылайте Ваши вопросы и заявки на эл.почту info@sernia.ru, тел. +7 495 204 13 17.