Plassys (Франция) – производитель оборудования для травления и осаждения тонких пленок с более чем 30-летним стажем, разработала новую установку - MEB700SL. Установка предназначена для нанесения тонких пленок методом магнетронного распыления. Данная технология разработана для применения в плазмонике.
Plassys MEB700SL - высоковакуумная установка напыления тонких пленок
Совсем недавно компания Plassys представила высоковакуумную установку напыления MEB700SL. Специально разработанное для применения в плазмонике, оборудование обеспечивает термическое напыление пленок драгоценных металлов и диэлектриков с помощью электронного пучка.
Источник ионов типа End-hall включен для предварительной очистки или для ионной поддержки во время роста оксидов. Как и многие другие системы Plassys, 2-угловой манипулятор подложки позволяет использовать теневое испарение для нанесения более или менее сложных структур.
Пользователи оборудования отметили превосходную производительностью установки, особенно с точки зрения однородности тонких пленок при изготовлении высококачественных устройств.
Другие установки от Plassys
Осаждение распылением – это универсальный метод, предлагающий большое количество технологических параметров для настройки состава и микроструктуры тонких пленок. Также возможны различные геометрические формы источников: плоские, конфокальные, распыление вверх, распыление вниз. Система распыления MP450S была соединена с кластерным инструментом и вмещает комбинацию из 2-х четко сконфигурированных геометрических форм: шесть 2-дюймовых магнетронных катодов в конфокальной плоскости и в плоскости распыления для осаждения сложных стехиометрических соединений и один 2-х дюймовый магнетронный катод внеосевой плоскости для осаждения комплексного соединения из одной мишени.
Эта последняя конфигурация позволяет поддерживать стехиометрию при одновременном ограничении повреждений, вызванных высокоэнергетическими частицами, при регулировке некоторых геометрических и технологических параметров.
Plassys расширяет производство установок для нанесения тонких пленок
Востребованность оборудования побудила руководство компании расширить производство. Начавшееся в конце 2020 года строительство пристройки здания идет быстрыми темпами. Эти новые помещения предназначены для сборки оборудования для нанесения тонких пленок, чтобы удовлетворить растущие потребности клиентов. Вся команда Plassys с нетерпением ожидает окончания работы, чтобы в полной мере воспользоваться этой новой рабочей средой.
Перспективные направления Plassys - сверхпроводящие кубиты
Хотя каждый год лаборатории, работающие над инструментами для осаждения Plassys, всегда демонстрируют наилучшие характеристики сверхпроводящих кубитов, компания продолжает развиваться. Plassys предоставляет новые решения и функции для самых требовательных клиентов и продолжает свою проектную работу, чтобы заранее разработать инструменты по последнему слову техники. Подбор лучшего оборудования для каждого конечного пользователя может стать девизом компании, которая ожидает, что новые барьеры в квантовых технологиях будут преодолены в соответствии с этими постоянными усилиями.
Если Вас заинтересовала установка MEB700SL Plassys, обращайтесь в нашу компанию. Наши специалисты проконсультируют Вас и сориентируют по ценам на продукцию. Присылайте свои вопросы на электронную почту: info@sernia.ru или позвоните +7 (495) 204-13-17.
*Инженерный персонал компании Серния Инжиниринг оказывает полное техническое сопровождение по оборудованию Plassys.