Система плазмохимического травления Minilock-Phantom III Trion предназначена для сложных химических процессов, включая травление материалов с использованием агрессивных веществ.
Особенностью данной системы является наличие вакуумного шлюза. Вакуумный шлюз обеспечивает безопасность при работе с химикатами. Помимо этого, он предотвращает разгерметизацию камеры и значительно сокращает рабочие процессы. Разработанная система отвечает всем международным нормам безопасности.
Особенностью данной системы является наличие вакуумного шлюза. Вакуумный шлюз обеспечивает безопасность при работе с химикатами. Помимо этого, он предотвращает разгерметизацию камеры и значительно сокращает рабочие процессы. Разработанная система отвечает всем международным нормам безопасности.
Особенности и преимущества Minilock-Phantom III Trion:
- травление опасными, токсичными и самовоспламеняющимися газами (Cl2, BCl3, SiCl4, HBr)
- ICP реактор высокой мощности
- автоматическая продувка системы
- простота управления системой
- вакуумный шлюз для предотвращения разгерметизации камеры
- безопасность при работе с агрессивными химикатами
- аналог Bosch процесса глубокого травления