Новости науки и техники, выпуск №8‑2021

Компания Trion Technology выпустила новую установку АСО - Minilock ALD. Данная модель разработана специально для выращивания пленок методом атомно-слоевого осаждения в тепловом и плазменном режимах. Архитектура установки позволяет масштабировать систему до промышленных масштабов производства. Система стандартно сконфигурирована для пластин до 200 мм. Предусмотрены различные опции и возможности расширения исследовательского функционала (например, дополнительный источник микроволновой плазмы).

Недавно компания Plassys представила высоковакуумную установку напыления MEB700SL. Специально разработанная для применения в плазмонике, система обеспечивает термическое напыление пленок драгоценных металлов и диэлектриков с помощью электронного пучка. Источник ионов типа End-hall включен для предварительной очистки или для ионной поддержки во время роста оксидов. Двухугловой манипулятор подложки позволяет использовать теневое испарение для нанесения более сложных структур.